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讓大家失望了!光刻機工廠?NO!

2023-09-19 11:22:39 EETOP
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近日來自眾多行業外自媒體的消息稱,清華大學SSMB-EUV項目把ASML的光刻機巨大化,實現了光刻機國產化,并配圖稱該項目已在雄安新區落地。

對此,中國電子工程設計院有限公司(下稱中國電子院)官微9月18日發聲,稱該項目并非網傳的國產光刻機工廠,而是北京高能同步輻射光源項目(HEPS)


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HEPS坐落于北京懷柔雁棲湖畔,是國家“十三五”重大科技基礎設施。它是我國第一臺高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的,第四代同步輻射光源之一。早在2019年就開始建設,將于2025年底投入使用。


北京高能同步輻射光源項目實拍圖


HEPS是干嘛用的呢?

它的作用是通過加速器,將電子束加速到6GeV。然后注入周長1360米的儲存環,用接近光速的速度保持運轉,電子束在儲存環的不同位置,

通過彎轉磁鐵或者各種插入件時,就會沿著偏轉軌道切線的方向釋放出穩定、高能量、高亮度的光,也就是同步輻射光。

簡單的說HEPS可以看成是一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機。它產生的小光束可以穿透物質、深入內部進行立體掃描從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界HEPS,是進行科學實驗的大科學裝置。并不是網傳的光刻機工廠。

中國電子院表示,目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工,向產生世界最“亮”的光又更近了一步。


總結

從原理上來看,使用SSMB-EUV技術解決EUV光刻機的光源問題或許有其行性,但目前最多也應該只處于實驗驗證階段。值得注意的是,EUV光刻機的光源只是該設備的一部分,還有許多其他技術問題需要解決。因此,尚未達到自媒體所宣稱的已準備在雄安投入生產的程度。更不能用一張移花接木的圖片來欺騙大家。



關鍵詞: HEPS 光刻機 SSMB-EUV

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