俄媒：光刻機突破西方封鎖！
2024-09-28 10:53:57 EETOP據俄羅斯科技媒體CNews報道，2026年后，俄羅斯將開始較大規模的用于光刻的激光器生產，每年計劃組裝至少五臺這樣的激光器。開發工作進展迅速，測試計劃于2025年進行。
CNews報道截圖（網頁自動翻譯）
俄羅斯半導體制造業復蘇
俄羅斯將建立用于光刻的國產準分子激光器生產線，準分子激光器用于制造芯片。據CNews報道，俄羅斯工業和貿易部副部長瓦西里·什帕克(Vasily Shpak )透露，離激光器投產的時間已不遠，2026年后每年將生產至少五臺這樣的激光器。激光器的開發由拉薩德集團負責。
需要注意的是，什帕克并未透露更具體的生產啟動時間或范圍，不過他表示，激光器將在2025年開始測試。
測試工作將由“Zelenograd納米技術中心”（ZNTC）的員工負責，激光器將用于最初設計為350nm工藝的光刻機中。新激光器將提升其能力至130nm。作為對比，2024年最先進的芯片制造工藝為3nm，該工藝被用于臺積電的工廠以生產蘋果的芯片。
什帕克表示，光刻機和激光器的潛在客戶已經存在，雖然他沒有透露全部名單，但指出其中包括“Микрон（Mikron）”，這是一家自稱為俄羅斯第一芯片制造商的大型半導體生產企業。
為什么這很重要
到2024年9月26日，拉薩德集團已經準備好了準分子激光器的原型機。什帕克表示，俄羅斯現在離實現130nm光刻機的生產更近了。他還補充說，光刻機本身將于2026年面世。
什帕克進一步指出，該激光器未來還可以支持90nm的生產。激光器可以使工藝向更小的節點方向發展。他透露，俄羅斯已經在為90nm和65nm工藝的材料和設備開發進行前期工作。
俄羅斯的首臺光刻機
據塔斯社報道，什帕克稱搭載拉薩德激光器的光刻機為“俄羅斯首臺光刻機”。該設備最初設計為350nm工藝芯片的生產，這一工藝的巔峰期是在1995-1996年。
Vasily Shpak 在 Lassard Group of Companies 的激光原型演示中
根據Zelenograd.ru網站的信息，俄羅斯的350nm光刻機重3.5噸，尺寸為200×260×250厘米（包括光學-機械設備和激光器的鏡頭，工作波長為365nm）。拉薩德的激光器將使這臺光刻機從350nm工藝提升至130nm。
背后的公司
什帕克表示，拉薩德集團將與ZNTC合作，前者是激光器的開發商，后者是技術供應商。ZNTC將負責光刻機的生產。
拉薩德集團成立于2015年4月，注冊資本約為305萬盧布，主要業務為自然科學和技術領域的研究和開發。
