俄媒：光刻機(jī)突破西方封鎖！
2024-09-28 10:53:57 EETOP據(jù)俄羅斯科技媒體CNews報道，2026年后，俄羅斯將開始較大規(guī)模的用于光刻的激光器生產(chǎn)，每年計劃組裝至少五臺這樣的激光器。開發(fā)工作進(jìn)展迅速，測試計劃于2025年進(jìn)行。
CNews報道截圖（網(wǎng)頁自動翻譯）
俄羅斯半導(dǎo)體制造業(yè)復(fù)蘇
俄羅斯將建立用于光刻的國產(chǎn)準(zhǔn)分子激光器生產(chǎn)線，準(zhǔn)分子激光器用于制造芯片。據(jù)CNews報道，俄羅斯工業(yè)和貿(mào)易部副部長瓦西里·什帕克(Vasily Shpak )透露，離激光器投產(chǎn)的時間已不遠(yuǎn)，2026年后每年將生產(chǎn)至少五臺這樣的激光器。激光器的開發(fā)由拉薩德集團(tuán)負(fù)責(zé)。
需要注意的是，什帕克并未透露更具體的生產(chǎn)啟動時間或范圍，不過他表示，激光器將在2025年開始測試。
測試工作將由“Zelenograd納米技術(shù)中心”（ZNTC）的員工負(fù)責(zé)，激光器將用于最初設(shè)計為350nm工藝的光刻機(jī)中。新激光器將提升其能力至130nm。作為對比，2024年最先進(jìn)的芯片制造工藝為3nm，該工藝被用于臺積電的工廠以生產(chǎn)蘋果的芯片。
什帕克表示，光刻機(jī)和激光器的潛在客戶已經(jīng)存在，雖然他沒有透露全部名單，但指出其中包括“Микрон（Mikron）”，這是一家自稱為俄羅斯第一芯片制造商的大型半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)。
為什么這很重要
到2024年9月26日，拉薩德集團(tuán)已經(jīng)準(zhǔn)備好了準(zhǔn)分子激光器的原型機(jī)。什帕克表示，俄羅斯現(xiàn)在離實現(xiàn)130nm光刻機(jī)的生產(chǎn)更近了。他還補(bǔ)充說，光刻機(jī)本身將于2026年面世。
什帕克進(jìn)一步指出，該激光器未來還可以支持90nm的生產(chǎn)。激光器可以使工藝向更小的節(jié)點(diǎn)方向發(fā)展。他透露，俄羅斯已經(jīng)在為90nm和65nm工藝的材料和設(shè)備開發(fā)進(jìn)行前期工作。
俄羅斯的首臺光刻機(jī)
據(jù)塔斯社報道，什帕克稱搭載拉薩德激光器的光刻機(jī)為“俄羅斯首臺光刻機(jī)”。該設(shè)備最初設(shè)計為350nm工藝芯片的生產(chǎn)，這一工藝的巔峰期是在1995-1996年。
Vasily Shpak 在 Lassard Group of Companies 的激光原型演示中
根據(jù)Zelenograd.ru網(wǎng)站的信息，俄羅斯的350nm光刻機(jī)重3.5噸，尺寸為200×260×250厘米（包括光學(xué)-機(jī)械設(shè)備和激光器的鏡頭，工作波長為365nm）。拉薩德的激光器將使這臺光刻機(jī)從350nm工藝提升至130nm。
背后的公司
什帕克表示，拉薩德集團(tuán)將與ZNTC合作，前者是激光器的開發(fā)商，后者是技術(shù)供應(yīng)商。ZNTC將負(fù)責(zé)光刻機(jī)的生產(chǎn)。
拉薩德集團(tuán)成立于2015年4月，注冊資本約為305萬盧布，主要業(yè)務(wù)為自然科學(xué)和技術(shù)領(lǐng)域的研究和開發(fā)。
關(guān)鍵詞： 光刻機(jī) 俄羅斯光刻機(jī)
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