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規避美國管制,尼康更新具有25年歷史的成熟技術光刻機,逆勢開拓中國市場

2023-11-10 11:10:45 EETOP
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當前光刻機市場被荷蘭ASML牢牢把持,占據了60%的份額。而尼康排名第三,差距顯著。

據日經中文網報道,為迎頭趕上,尼康計劃在2024年推出新產品,利用成熟技術,避免違反對華出口管制,并尋求在中國市場扭轉頹勢。       
在預測2023財年合并凈利潤將同比下降22%至350億日元后,尼康顯示出對半導體設備和相機影像業務的擔憂。盡管高檔微單相機銷售強勁,但精機業務的低迷影響明顯。
盡管尼康曾在1990年代領導市場,但在極紫外設備開發方面輸給了ASML。公司經營資源分散,1990年代主要向美國英特爾銷售尖端設備,但在拓展其他客戶方面進展緩慢。
光刻機作為半導體制造的核心,尼康在全球市場份額僅為7%,遠遠落后于ASML(60%)和佳能(31%)。為了應對ASML在極紫外(EUV)設備領域的競爭失利, 作為打開局面的對策,尼康將于2024年夏季時隔24年推出采用成熟技術的光刻機新產品。該款設備使用了1990年代初實用化、被稱為“i線”的老一代光源技術。這一舉措旨在利用成熟技術,減少成本,可能使產品價格比競爭對手佳能便宜2~3成左右。
同時尼康計劃通過推出采用老一代技術的設備,規避管制,積極開拓中國市場。這也與實用化已過去四分之一個世紀的“i線”等老一代設備不受出口管制的趨勢相符。精機業務本部長濱谷正人表示,正在積極與經濟產業省討論,認為產品不在出口管制范圍內,將在中國積極銷售。在對華出口管制的背景下,尼康能否通過開拓中國市場扭轉局勢,將成為其東山再起的關鍵。
尼康計劃明年夏季上市老一代技術的光刻機:NSR-2205i
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據之前的相關報道,尼康表示,NSR-2205iL1 代表了尼康5倍步進技術在過去二十五年中的最重大的更新,將可直接響應客戶對這些在芯片制造中發揮重要作用的光刻系統的需求。
從官方公布的參數來看,NSR-2205iL1 曝光光源是 i-line(365nm波長),分辨率≤350nm,NA為 0.45,最大曝光場22 mm x 22 mm。
圖片

主要優點

1、提供卓越性價比,同時支持各種需求
NSR-2205iL1 將提供高生產率,同時通過使用多點自動對焦 (AF) 的高精度晶圓測量、先進的晶圓平臺調平(通過傾斜放置晶圓的工作臺來校正曝光期間曝光圖像平面和基板表面之間的偏移的機構)和寬 DOF(擴展的焦深范圍)來優化各種半導體制造工藝的良率水平。此外,由于其晶圓厚度和尺寸兼容性、高晶圓翹曲容限以及靈活的功能(包括但不限于支持 碳化硅和 氮化鎵加工),它非常適合各種應用。NSR-2205iL1 i-line 步進機將提供卓越的經濟性,同時滿足芯片制造商的多樣化要求。
2、與現有產品和晶圓廠運營兼容
NSR-2205iL1 可以與現有晶圓廠運營兼容,在晶圓廠中擁有尼康 i-line 曝光系統的客戶可以繼續利用現有的資產和運營,例如光掩模和晶圓曝光解決方案。此外,NSR-2205iL1 還可以補充或替換不再滿足制造要求的現有步進式光刻機。
3、專為長期使用和可持續性而設計
NSR-2205iL1 可以放心地長期使用,因為其設計采用通用商用組件,比以往更容易采購零件,并為未來提供更可持續的光刻解決方案。


關鍵詞: 尼康 NSR-2205i

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