根據俄羅斯媒體報道指出，俄羅斯正在研發生產芯片的微影光刻機。其工業和貿易部副部長Vasily Shpak 在接受媒體訪問時指出，2024 年將開始生產350 納米微影光刻機，也就是說在明年俄羅斯就能擁有自己的光刻機了。此外，在2026年啟動用于生產130 納米制程芯片的微影光刻機。其生產將在莫斯科、澤列諾格勒、圣彼得堡和新西伯利亞的現有工廠進行。
Vasily Shpak 指出，當前全球只有兩家公司生產此類設備，包括日本NIKON 和荷蘭ASML。然而，其對于半導體的生產相當重要。Vasily Shpak 指出，一個簡單的邏輯就是，如果沒有半導體主權，那就沒有技術主權，那么你在國防安全和政治主權方面就非常脆弱。而現在俄羅斯已經掌握了使用外國制造65 納米微影光刻機的技術，但因為外國公司被禁止向俄羅斯出口先進的微影光刻機，所以俄羅斯正在匆忙開發自己的生產設備。
Vasily Shpak 表示，2024 年就將撥款2,114 億盧布（約23億美元）用于國內電子產品的開發。而俄羅斯決定開發350 納米到65 納米微影光刻機的原因，在于這一技術范圍內的芯片多用于微控制器、電力電子、電信電路、汽車電子等方面上，這些應用大約占市場的60%。所以，這項設備在全世界市場的需求量很大，并且將在至少10 年內有持續的需求。
另外，當被問到可能遭遇的阻力時，Vasily Shpak 說，我不想抱怨，所有的問題都不是問題，因為這關系到我們擁有哪些機會，以及所設定的目標。
