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中國臺灣清華大學(xué)半導(dǎo)體學(xué)院院長林本堅技術(shù)底子雄厚，當(dāng)年他以「水」作為介質(zhì)，發(fā)展浸潤式（Immersion）微影技術(shù)，用一滴水改變了全球半導(dǎo)體高端制程發(fā)展，不僅奠定臺積電與臺灣地區(qū)半導(dǎo)體領(lǐng)先地位，也為早年規(guī)模仍相對小的艾司摩爾（ASML）開啟新契機。

林本堅并串起艾司摩爾與臺積電的合作，艾司摩爾掌握關(guān)鍵技術(shù)后，成為臺積電發(fā)展先進制程的一大助力。如今，他從臺積電回到校園，協(xié)助臺灣地區(qū)培育半導(dǎo)體人才，要為臺灣地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界奠定更深厚的基石。

2014年，時任臺積電研發(fā)副總經(jīng)理的林本堅，當(dāng)選中研院首位來自產(chǎn)業(yè)的院士。原因是他早在2002年即提出，以水作為介質(zhì)的浸潤式微影技術(shù)，讓原本遇到發(fā)展瓶頸的半導(dǎo)體制程，能順利推進65納米以下世代，奠定臺積電日后得以超越IBM、英特爾，并甩開三星等勁敵的不敗地位，林本堅也因此被半導(dǎo)體業(yè)界譽為「浸潤式微影之父」。

林本堅1942年出生于越南的華僑家庭，1959年以僑生身分插班進入新竹中學(xué)高三，畢業(yè)后憑借實力，不靠僑生加分優(yōu)惠就考上臺大電機系。臺大畢業(yè)后留學(xué)美國，1970年取得俄亥俄州立大學(xué)電機工程學(xué)博士，曾任IBM研發(fā)部經(jīng)理，1992年在美創(chuàng)立領(lǐng)創(chuàng)公司，2000年應(yīng)當(dāng)時主掌臺積電研發(fā)的「蔣爸」蔣尚義之邀，返臺加入臺積電，2015年以研發(fā)副總經(jīng)理職務(wù)退休。

林本堅的浸潤式微影技術(shù)堪稱撼動全球半導(dǎo)體業(yè)發(fā)展，臺積電創(chuàng)辦人張忠謀在林本堅的退休晚會上直言：「假如沒有你和你所建立的團隊，臺積電的微影不會有今天這規(guī)模。」肯定他在職15年中對臺積電的卓越貢獻。

臺積電研發(fā)六騎士(由今周刊攝影自2003年，由左至右)：林本堅博士、楊光磊博士、時任研發(fā)副總蔣尚義、孫元成博士、梁孟松博士、余振華博士。

艾司摩爾總裁布林克接受媒體專訪時也透露，如果沒有極紫外光微影（EUV）技術(shù)，摩爾定律可能更早就結(jié)束；而浸潤式微影技術(shù)更「是個奇跡」。浸潤式顯影技術(shù)出現(xiàn)后，不僅改變了半導(dǎo)體曝光技術(shù)生態(tài)，也促成臺積電與艾司摩爾各自拉開與同業(yè)差距。

關(guān)注人才與技術(shù)培育的林本堅，自臺積電退休后轉(zhuǎn)任臺灣清華大學(xué)特聘研究講座教授，兼任臺積電—清華聯(lián)合研發(fā)中心主任，同時于2021年出任清華半導(dǎo)體研究學(xué)院院長，展開他堅信培育具備「創(chuàng)新突破動力的領(lǐng)導(dǎo)人才」的使命。

清華半導(dǎo)體學(xué)院在臺清交成四大名校中，最大亮點就是請來林本堅出任院長。在清華及林本堅的號召下，國內(nèi)外12家居領(lǐng)導(dǎo)地位的企業(yè)為清華半導(dǎo)體學(xué)院挹注經(jīng)費與師資，包括臺積電、力積電、欣興、世界先進、東京威力科創(chuàng)、美光、南亞科技、環(huán)球晶、聯(lián)電、聯(lián)發(fā)科、聯(lián)詠、敦泰及國發(fā)基金的相應(yīng)支持。