問世30年,最長青的光刻機：PAS5500，至今仍在用！助ASML登上光刻機霸主！
2021-05-16 16:16:50 TechnewsASML 表示，1991 年ASML 首部PAS 5500 機臺完成出貨之后，直到今天，PAS 5500 仍是ASML 最長青的光刻機設備，也是ASML 用途最廣泛的產品線之一。當時在PAS 5500 出貨之前，ASML在半導體光刻機市場位居第三，遠遠落在競爭對首Nikon 和Canon 之后。然而， PAS 5500 的成功很快的讓ASML 晉升第二大光刻機設備商，并為ASML 日后在光刻機市場的全球發展打下基礎。
至于，為什么叫做PAS 5500 呢？PAS 5500 來自1970 年代，當時飛利浦的研究員開始實驗一系列的設備，而PAS 5500 的全名「the Philips Automatic Stepper(PAS)」。而為了紀念這部機臺的來源，也代表ASML 與飛利浦長期的合作關系，因此取名為PAS 5500。
ASML 強調，問世的30 年后，每部PAS 5500 都在半導體制程中擁有自己的故事。舉例來說，已經25 歲的PAS 5500/275，多年來被應用在存儲器(Memory) 以及RF 模組(Radio Frequency Module) 制程中，但它最近剛被翻修，并重新販售到VR 技術制程的最前線，展開新生活。僅管PAS 5500 已經不再被應用在最先進的制程中，但它們具備成本低、體積小、簡單以及穩定性，在許多利基應用市場中是首選設備。為了持續支持使用這部機臺的客戶，當前ASML 已將相關的客戶支持服務期限延后至2030 年以后。
