臺積電再次大批量采購EUV光刻機!
2020-11-16 09:53:22 未知盡管尚不清楚確切的交付和安裝時間表,但這些設備將在2021年全年交付。同時,臺積電明年的實際需求可能高達16 – 17臺EUV光刻機,因為該公司正在使用具有EUV層的制造技術來提高產量。臺積電尚未確認該報告。
目前,臺積電使用ASML的Twinscan NXE EUV光刻機在其N7 +和N5節點上生產商用芯片,但該公司將在接下來的幾個季度中增加N6(實際上定于2020年第四季度或2021年第一季度進入HVM)以及還具有EUV層的N5P流程。
臺積電對EUV光刻機的需求隨著其技術變得越來越復雜并采用了需要使用極紫外光刻工具進行處理的更多層而不斷增加。