江河日下的日本光刻機、蝕刻設備依然被英特爾大量采用！如果英特爾退出IDM，這兩家日企將受到毀滅性打擊
2020-09-07 12:48:48 EETOP那么，如果英特爾將最先進的處理器的制造外包給臺積電，會發生什么呢？特別是對制造設備行業會產生什么樣的影響？圖1顯示了各公司2019年各種制造設備的份額?？梢钥闯?，日本，美國和歐洲的1-3家公司壟斷了眾多的半導體制造設備。這是因為下一代制造設備需要大量的開發投資，而市場份額較低的公司和財務狀況較差的公司卻被一并淘汰。此外，每個制造設備都是一整套先進的技術，對于新企業而言，這是極其困難的。
在制造設備行業，如果英特爾退出IDM，成為一家無晶圓廠的公司，并將生產完全外包給臺積電，將會產生什么影響？
那么，有哪些制造設備廠家會陷入了這種困境呢？分析表明，至少將有兩家日本企業會受到相當大的沖擊。一家是早年間的光刻機霸主：尼康，另一家是生產蝕刻設備的日立高新。
圖2顯示了各公司光刻設備的市場份額：上世紀90年代中期，尼康曾獲得約50%的市場份額，甚至被稱為"設備制造商之王"，但在2000年被荷蘭的ASML超越，2019年其市場份額僅為7%。
另一方面，ASML以88.5%的市場份額占據市場主導地位，是唯一一家能夠提供最先進EUV光刻設備的設備制造商?，F在，對于臺積電、三星電子等半導體廠商來說，爭奪最先進的制程微縮，就看他們能引進多少ASML的EUV了。 然而，即便是這樣的狀態，英特爾依然固執地將尼康的產品用于上一代EUV的ArF干法和ArF浸入式光刻設備（雖然不是全部）。換句話說，尼康7%的市場份額中，大部分可能是依靠英特爾。即使到了7nm或5nm一代，也不是所有的光刻設備都是EUV，而是需要一定數量的i-line、KrF、ArF干式和ArF浸泡式光刻設備（圖3）。
不過，臺積電幾乎所有的光刻系統都是ASML，沒有一個是尼康生產的。至少，將來臺積電建設新的半導體工廠時，不會選擇尼康的光刻系統?！∫虼耍绻?a href="http://www.xebio.com.cn/cpu_soc" target="_blank" class="keylink">英特爾轉型稱無晶圓廠，尼康光刻機將會徹底歇菜！
圖4顯示了各公司干式蝕刻設備的份額。在2000年左右，泛林（Lam Research），應用材料（AMAT）和東電（TEL）這三家公司爭奪頭把交椅，但從2005年左右開始，泛林成為領頭羊，并一直保持著第一的市場份額。
泛林原本在金屬、柵極等導電薄膜的干式蝕刻設備方面實力雄厚。但是，2000年以后，金屬互連材料從Al向Cu轉變，需要低k膜的絕緣膜干式蝕刻設備，此時，該公司開發的設備威脅到了絕緣膜干式蝕刻能力較強的TEL公司，并取得了領先優勢?；谝陨锨闆r，2019年，泛林占47.3%，TEL占26.5%，AMAT占19.2%，日立高新占5.6%的市場份額。日立科技5.6％的份額被認為是英特爾的導電膜干式蝕刻設備。而泛林、應用材料則是導電膜干式蝕刻系統的主流類型，而英特爾是唯一一家在使用日立高新的微波等離子體進行干式蝕刻的公司。
因此，如果英特爾選擇無晶圓廠的方式，并將最先進的處理器的制造外包給臺積電，那么尼康光刻設備和日立高科技干法蝕刻設備業務將會幾乎完全消失。
