日本開發(fā)出廉價(jià)可靠的EUV光源
2020-04-29 12:53:32 allaboutcircuits EETOP
東京工業(yè)大學(xué)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了這一目標(biāo)，他們用聚電解質(zhì)制成的聚合物電解質(zhì)“肥皂泡”作為模板，用激光照射，這種聚合物電解質(zhì)非常穩(wěn)定，適合大規(guī)模生產(chǎn)。
一旦球體被輻射，研究小組就能夠證實(shí)發(fā)出了與金屬錫相同的13.5nm的極紫外(EUV)射線。研究小組認(rèn)為，他們的新技術(shù)可以為先進(jìn)半導(dǎo)體等電子產(chǎn)品的各種應(yīng)用鋪平道路，作為一種可靠的EUV光源產(chǎn)生手段。
東京工業(yè)大學(xué)的團(tuán)隊(duì)與都柏林大學(xué)學(xué)院的同事合作，致力于尋找可用于產(chǎn)生EUV光的激光靶，同時保持高效、可擴(kuò)展和低成本。他們的錫涂層微膠囊 "氣泡 "技術(shù)是一種可高度控制的低密度結(jié)構(gòu)。它由聚合物電解質(zhì)組成，然后涂上錫納米顆粒。
為了對該氣泡進(jìn)行測試，研究小組用釹-YAG激光器對其進(jìn)行照射。結(jié)果是產(chǎn)生了13.5納米范圍內(nèi)的EUV光，研究小組還發(fā)現(xiàn)，該結(jié)構(gòu)與制造半導(dǎo)體的傳統(tǒng)EUV光源兼容。
"克服了液態(tài)錫動力學(xué)的限制，在產(chǎn)生EUV光方面非常有利。"Keiji Nagai教授說。"定義良好的低密度錫靶可以支持多種材料，包括其形狀、孔隙大小和密度。"
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