Crossing 推出增強版Spartan EFEM
2010-04-06 16:23:32 本站原創為大規模半導體設備制造商提供高效節能的前端與后端自動裝置解決方案及工程服務的領先供應商Crossing Automation公司宣布，已經提高公司的SpartanTM設備前端模塊（EFEM）的性能，將其每小時的加工能力提高至 450張晶圓。改進設計的目的是滿足高通量半導體制造工藝如剝離/去膠、清洗和離子注入的需要。由于擁有專有的晶圓機常壓機器人，改進后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的時間內以最快的速度進行晶圓切換，實現100%的工藝設備利用率。
增強版Spartan EFEM已通過某領先的剝離設備供應商的認證，并表明在現有的EFEM技術的技術基礎上將加工能力提高了20%。此次實際生產驗證Spartan平臺的安 裝基數超過1000件，上線時間達99%。
