三星將采用混合鍵合技術(shù)打造HBM4內(nèi)存
2025-05-14 08:48:23 EETOP近日,在韓國首爾舉行的人工智能半導體論壇上,三星透露了一項重要計劃:該公司打算在其HBM4中采用混合鍵合技術(shù),旨在降低發(fā)熱量并實現(xiàn)超寬內(nèi)存接口。與此同時,據(jù)EBN報道,三星的競爭對手SK海力士可能會推遲采用該技術(shù)。
高帶寬存儲器(HBM)是將多個存儲設備堆疊在一個基片上的技術(shù)。當前,HBM堆棧中的存儲芯片通常借助微凸塊來傳輸數(shù)據(jù)、電源和控制信號,并通過模壓底部填充(MR-MUF)或非導電薄膜熱壓(TC-NCF)等技術(shù)實現(xiàn)鍵合。此外,芯片還通過嵌入每個芯片內(nèi)部的硅通孔(TSV)進行垂直互連,以傳輸數(shù)據(jù)、時鐘、控制信號、電源和地線。
然而,隨著HBM速度的提升以及DRAM設備數(shù)量的增加,微凸塊的局限性逐漸顯現(xiàn)。微凸塊會限制性能和功率效率,變得效率低下。在此背景下,混合鍵合技術(shù)成為了一種潛在的解決方案。
混合鍵合是一種3D集成技術(shù),它通過鍵合銅與銅以及氧化物與氧化物表面,直接連接芯片,無需使用微凸塊。該技術(shù)支持小于10μm的互連間距,與傳統(tǒng)的基于凸塊的堆疊相比,能提供更低的電阻和電容、更高的密度、更佳的熱性能以及更薄的3D堆疊。
不過,混合鍵合技術(shù)存在成本問題。它是一種相當昂貴的技術(shù),所需的專用設備比傳統(tǒng)封裝工具昂貴得多,而且需要晶圓廠更大的物理空間,這會影響資本效率,尤其是在晶圓廠面積有限的情況下。因此,盡管三大HBM內(nèi)存制造商都曾考慮將其用于12-Hi HBM3E,但美光和三星最終選擇了TC-NCF,SK海力士則采用了MR-MUF。
三星計劃在HBM4中使用混合鍵合,而SK海力士正在開發(fā)一種先進的MR-MUF技術(shù),并將混合鍵合作為備用工藝。SK海力士可能會繼續(xù)使用傳統(tǒng)的模塑底部填充而非混合鍵合,其中一個重要原因是其先進的MR-MUF技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)比上一代底部填充材料更薄的HBM存儲器堆棧。這使得該公司能夠生產(chǎn)符合JEDEC HBM4規(guī)范的16-Hi HBM4堆棧,而該規(guī)范規(guī)定HBM4封裝的最大高度為775μm,與16-Hi HBM3E堆棧的最大高度約800μm相比略低。如果SK海力士能夠使用現(xiàn)有工具和技術(shù)滿足JEDEC的規(guī)范,那么混合鍵合技術(shù)對該公司的吸引力就會大大降低。
三星擁有自己的晶圓廠設備制造商Semes,這在一定程度上降低了其晶圓廠成本。但目前尚不清楚Semes能否為其母公司生產(chǎn)先進的混合鍵合設備。
盡管面臨成本挑戰(zhàn),混合鍵合技術(shù)在未來仍有廣闊的應用前景。業(yè)界正在密切關(guān)注三星能否通過混合鍵合技術(shù)使其HBM4獲得認證。一旦成功獲得認證,將重塑競爭格局,使三星在性能、熱特性和信號密度方面獲得技術(shù)和商業(yè)優(yōu)勢。預計在2026年開始量產(chǎn)HBM4后,三星或?qū){借其HBM4從美光和SK海力士手中奪回市場份額。
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