AXCELIS宣布向日廠商發運功率注入機
2022-04-01 14:29:28 EETOP馬薩諸塞州比佛利2022年3月31日 /美通社/ -- 半導體行業離子注入支持解決方案的領先供應商Axcelis Technologies, Inc.（納斯達克股票代碼：ACLS）今天宣布，公司向日本領先的功率設備芯片制造商發運其Purion XE?高能和Purion M?中等電流Power Series?注入機。這些系統將用于大批量生產基于300mm薄硅晶圓的MOSFET和IGBT設備，以用于汽車和其他功率管理應用。
產品開發執行副總裁Bill Bintz表示：“Purion Power系列的獨特功能，結合功率設備領域的密集注入特性，將賦予Axcelis獨特的條件來從這一市場的增長中受益。這些工具集成了多項功能和工藝控制能力，包括該平臺為功率設備市場提供支持的薄晶圓處理能力。我們期待擴大Purion平臺在日本的業務范圍，并支持我們客戶實現提高制造能力的目標。”
關于Axcelis：
Axcelis（納斯達克股票代碼：ACLS）的總部位于馬薩諸塞州比弗利。40多年來，公司一直為半導體行業提供創新的高生產率解決方案。Axcelis致力于通過對離子注入系統的設計、制造和完整的生命周期支持來開發工藝應用支持功能，這是IC制造工藝中最關鍵和最具價值的階段之一。如需了解更多關于Axcelis的信息，請訪問www.axcelis.com。
