首發19億一臺的下代EUV光刻機 Intel將派人幫助ASML加速生產
2022-03-22 10:01:59 快科技
Peter Wennink在采訪中表示，盡管各大半導體公司投資了數十億甚至數百億美元以提高產能，然而他們并不可能快速提高產能，因為制約產能的還有半導體設備。
在接下來的兩年中，芯片產量的增長將進一步受到設備不足的限制，這都需要時間來解決。
就連ASML公司自己的光刻機生產都受到了限制，不過Intel CEO基辛格此前表示他們已經派人去幫助ASML公司加速生產。
Intel并沒有提及他們派出多少工程師以及是怎樣幫助ASML提高光刻機產量的，但是他們很可能協助ASML加速新一代EUV光刻機的生產。
現在的EUV光刻機還是NA 0.33技術的，Intel的重點押注在了下一代EUV光刻機，也就是NA 0.55的ASML新一代光刻機，據說成本高達3億美元，約合19億元。
實際上4年來Intel實際上已經下單了6臺NA 0.55的EUV光刻機，其中分為兩種，Twinscan Exe:5000系列主要用于工藝研發，產能輸出是185WPH，每小時生產185片晶圓，2023年上半年交付。
量產型的NA 0.55光刻機是Twinscan Exe:5200，產能提升到200WPH，每小時200片晶圓，預計會在2024年下線，Intel的20A工藝正好是在2024年量產。
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