首發(fā)19億一臺(tái)的下代EUV光刻機(jī) Intel將派人幫助ASML加速生產(chǎn)
2022-03-22 10:01:59 快科技
Peter Wennink在采訪(fǎng)中表示，盡管各大半導(dǎo)體公司投資了數(shù)十億甚至數(shù)百億美元以提高產(chǎn)能，然而他們并不可能快速提高產(chǎn)能，因?yàn)橹萍s產(chǎn)能的還有半導(dǎo)體設(shè)備。
在接下來(lái)的兩年中，芯片產(chǎn)量的增長(zhǎng)將進(jìn)一步受到設(shè)備不足的限制，這都需要時(shí)間來(lái)解決。
就連ASML公司自己的光刻機(jī)生產(chǎn)都受到了限制，不過(guò)Intel CEO基辛格此前表示他們已經(jīng)派人去幫助ASML公司加速生產(chǎn)。
Intel并沒(méi)有提及他們派出多少工程師以及是怎樣幫助ASML提高光刻機(jī)產(chǎn)量的，但是他們很可能協(xié)助ASML加速新一代EUV光刻機(jī)的生產(chǎn)。
現(xiàn)在的EUV光刻機(jī)還是NA 0.33技術(shù)的，Intel的重點(diǎn)押注在了下一代EUV光刻機(jī)，也就是NA 0.55的ASML新一代光刻機(jī)，據(jù)說(shuō)成本高達(dá)3億美元，約合19億元。
實(shí)際上4年來(lái)Intel實(shí)際上已經(jīng)下單了6臺(tái)NA 0.55的EUV光刻機(jī)，其中分為兩種，Twinscan Exe:5000系列主要用于工藝研發(fā)，產(chǎn)能輸出是185WPH，每小時(shí)生產(chǎn)185片晶圓，2023年上半年交付。
量產(chǎn)型的NA 0.55光刻機(jī)是Twinscan Exe:5200，產(chǎn)能提升到200WPH，每小時(shí)200片晶圓，預(yù)計(jì)會(huì)在2024年下線(xiàn)，Intel的20A工藝正好是在2024年量產(chǎn)。
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