臺積電2020年資本支出估達170億美元，創下新高無虞。但7納米及5納米等先進制程、16納米以上成熟制程等產能仍供不應求。臺積電2021年持續擴增產能以因應強勁需求，包括Fab 18A廠第三期5納米產能將在第一季開出，Fab 18B廠3納米產能建置正加速進行，同時提升2納米閘極全球場效電晶體（GAAFET）技術研發速度等。
設備業者指出，受惠于5G及WiFi 6、人工智能及高效能運算（AI/HPC）、車用及物聯網芯片等晶圓代工需求強勁，臺積電看好2021年產能持續供不應求，7納米及5納米接單幾乎全滿，成熟制程產能全線吃緊，加上3納米產能建置及美國5納米新廠動工將同步展開，持續增加極紫外光（EUV）光刻機及相關設備采購規模，預期2021年資本支出將上看200億美元，連續三年創下歷史新高。
以2021年新廠建置進度來看，臺積電針對3納米制程打造的Fab 18B廠共三期工程已動工，美國5納米建廠即將展開，南科Fab 14廠會再興建P8廠做為特殊制程晶圓廠，并在同一廠區內興建先進封裝技術生產基地。再者，竹科廠區將興建擁有兩座研發晶圓廠的研發中心，其中R1研發晶圓廠預計2021年完工，做為2納米及更先進制程的研發基地，竹南先進封裝廠則如期進行。
臺積電3納米將于2022年第二季進入量產，5G及HPC應用會是主要產品線。根據臺積電規劃，3納米晶圓廠廠房基地面積約為35公頃，潔凈室面積將超過16萬平方公尺，大約是22座標準足球場大小。3納米進入量產時，當年產能預估將超過每年60萬片12吋晶圓。業界預期臺積電會是全球第一家提供3納米量產的半導體廠，該廠區也會是全球擁有最多EUV產能的超大型晶圓廠（GigaFab）。
臺積電擴大資本支出，大同盟合作伙伴直接受惠。其中，先進制程晶圓廠及先進封裝廠的建置，包括漢唐、帆宣、信纮科等廠務工程業者直接受惠，2021年在手訂單將續創新高。另外，臺積電擴大EUV及先進制程產能，極紫外光光罩盒（EUV Pod）供應商家登及設備代工廠帆宣將受惠，設備及備品供應商京鼎、弘塑、意德士等亦同步受惠。
