新一代EUV光刻機單臺售價30億元！ 三星盤算搶先臺積電獲得
2020-12-02 13:09:39 EETOPBusiness Korea 12月1日報道，Wennink 等ASML 高層上周訪問了三星半導體廠，討論EUV 光刻設備的供給與發展合作案。業界內部人士相信，三星要求ASML 供應更多EUV 光刻設備，雙方并討論開發新一代EUV 設備的合作事宜。
身為全球唯一一家EUV 設備制造商的ASML，目前對臺積電的供貨量高于三星。三星希望跟ASML 合組科技聯盟，取得更多新一代EUV 光刻設備。ASML 也有跟三星投資合作的必要，因為新一代EUV 設備需要大量研發資金。
三星希望投資高數值孔徑（high-numerical aperture，High-Na）EUV 設備的開發案，這種設備可改善半導體微制程所需的電路解析度，一臺設備要價4.5億美元（接近30億元人民幣），是目前款式的2-3 倍。ASML 計劃2023 年年中推出設備原型，三星希望趕在臺積電之前取得設備，爭取技術領先。
不過，三星一名內部人士透露，雙方并未在會議上達成投資決定。ASML 高層只是應李在镕10 月份的邀請前來三星訪問。ASML 高層也拜訪SK 海力士（SK Hynix）總裁李錫熙（Lee Seok-hee），消息顯示他們討論了要如何擴大供應EUV 設備、促進合作。
