2019半導體關鍵子系統TOP10榜單出爐：受惠EUV訂單，蔡司排榜首
2020-04-14 12:31:52 EETOP
這是因為EUV光刻機已經全面投產，蔡司是ASML的EUV光學子系統的獨家供應商。
10個主要子系統供應商的2019年市場份額的同比變化率（來源：VLSI研究）
這是一個價值120億美元的行業，VLSIresearch將“關鍵子系統”定義為高度工程化和專門化的技術，這些技術在設備制造過程中起到關鍵作用。
子系統包括真空泵、流體泵、流體泵、閥門、管道、質量流量控制器、過程診斷工具（分析儀等）、光學元件（透鏡、反射鏡等）、射頻電源、熱交換器、靜電檢測、搬運機器人等。
