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臺積電重申18英寸晶圓制造計劃

2013-05-13 20:14:11 本站原創
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臺灣半導體制造公司(TSMC)已經重申,將興建其首座450毫米(18英寸)的中試生產線將在2016年到2017年為客戶提供10nm和7nm FinFET晶體管代工技術。

臺積電也希望采用極端紫外線(EUV)光刻技術來生產10nm芯片,相關生產設備將在2017年底進場。

臺積電300mm晶圓廠經營副總裁表示,設備供應商之前對是否生產18英寸晶圓制造設備猶豫不決,不過,業內人士現在意識到晶圓過渡到18英寸的必要性。目前,每一個主要的設備制造商,他們R&D資本支出當中,有15%撥給18英寸晶圓生產設備開發制造。

臺積電希望到2015年底,完成安裝18英寸晶圓制造所需大部分設備,并預計在2016年和2017年之間建造其第一個18英寸的中試線。臺積電的18英寸設備將主要代工生產出10nm和7nm芯片

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