CyberOptics推出實時監(jiān)控相對濕度（RH）解決方案
2016-03-30 21:58:19 未知CyberOptics®公司（NASDAQ：CYBE），一家全球領先的開發(fā)商和高精度的3D傳感技術解決方案供應商，將展示和展覽在第23次研討會光罩和NGL面膜技術在橫濱，日本，2016年4月6日至八日。
海報展示周二，4月7日，17：10-19：00將有先生Yukinobu林，現(xiàn)場應用工程師CyberOptics的，在討論“監(jiān)測濕度浸泡掃描器光罩環(huán)境，以降低標線片霧狀效果最佳實踐。”
“關鍵是要有效地監(jiān)控RH浸入式掃描儀，產生不良影響可以從陰霾導致時不采取適當?shù)拇胧﹣?a href="http://www.xebio.com.cn/measurement" target="_blank" class="keylink">測量和控制它，”林山說。
CyberOptics的ReticleSense®自動的多傳感器（AMSR）所用的標線片環(huán)境的所有位置測量濕度和檢測，其中H 2 O暴露于標線片的任何地方。監(jiān)測濕度是在降低光罩的霧度是至關重要的。霾是引起掩模殘余物中，193nm的光和H 2 O的組合光罩產生不利影響。除了相對濕度測量時，AMSR也可用于振動和流平 - 用于增加產量和降低了停機時間的重要因素。
關于和的WaferSense線ReticleSense
該的WaferSense測量產品，包括自動調平系統(tǒng)（ALS），自動定寸系統(tǒng)（AGS），自動振動系統(tǒng)（AVS），自動教學系統(tǒng)（ATS）和塵埃粒子傳感器（APS）是200毫米現(xiàn)已推出， 300毫米450mm晶圓尺寸。此外，無論是APS和ALS是了150毫米尺寸可供選擇。該ReticleSense塵埃粒子傳感器（APSR）中，ReticleSense自動調平系統(tǒng)（ALSR）和新ReticleSense塵埃粒子傳感器石英（APSRQ）的分劃板形的外形可供選擇。有關CyberOptics的解決方案的整個產品線的更多信息，請訪問該公司的網站www.cyberoptics.com。
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