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滲透全過程曝光!俄羅斯間諜如何在ASML竊取機密?

2025-04-03 13:16:08 EETOP
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去年年底爆出俄羅斯間諜工程師剽竊ASML機密數據被抓的消息。近日,荷蘭媒體詳細批露了該工程師間諜行為的詳細過程。

據荷蘭《新鹿特丹商業報》(NRC)4月1日報道,43 歲的俄羅斯工程師German ?A被指控秘密向俄羅斯提供來自ASML、恩智浦(NXP)和臺積電TSMC)的敏感技術信息,據稱是為了協助在俄羅斯建造一座具備 28 納米制程能力的晶圓廠。他的非法所得約為 4萬歐元,目前面臨 18 至 32 個月的監禁。雖然German ?A 一人無法竊取半導體的完整設計方案,但一個相互配合的團體有可能助力俄羅斯的半導體生產。

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數百份機密文件被盜

German 被指控向俄羅斯提供了來自ASML、格羅方德(GlobalFoundries)、恩智浦、臺積電和格羅方德的機密技術材料,其中包括半導體生產手冊和各種芯片制造機器的資料。據調查人員稱,他們發現他獲取了ASML的 105 份內部文件以及 88 份與臺積電相關的文件。

這些材料并不包含建造晶圓制造設備的完整藍圖,也沒有更重要的內容(例如,一座晶圓廠本身的設計方案,或者如何設計制程技術)。不過,這些材料都被標注為機密,能夠為建立一條基本的半導體生產線提供支持,這條生產線能夠以 28 納米級的制程技術生產芯片,這樣的技術水平對于軍事應用來說已經足夠了。調查人員認為,他通過云存儲和即時通訊應用程序分享了這些數據,并在莫斯科交出了一個優盤,據稱在此過程中獲利約 4萬歐元。

據報道,German 還與試圖獲取一臺化學氣相沉積設備一事有關,這可能是為俄羅斯未來的芯片工廠配備設備的努力之一。然而,根據報道,這臺設備先是被轉運到了以色列,然后就一直沒有交付。

2024 年 8 月,在國家情報機構報案后,German被拘留。一個月后,ASML和恩智浦正式被告知存在間諜活動嫌疑。他的案件目前正在法庭審理中,當局懷疑他與俄羅斯情報部門有關聯。這兩家公司都參與了調查,并對這名前雇員提出了控訴。

雖然German 不太可能獨自竊取在俄羅斯建造一個功能齊全的半導體生產設施所需的所有設備的藍圖,但這樣的間諜網絡卻有可能做到這一點,并使這個敵對國家的半導體生產得以恢復。

漫長的職業生涯

在 2024 年被捕之前,German  在半導體研發和生產行業有著長期的從業經歷。2008 年和 2009 年,他在比利時的研究中心 imec 實習。之后,他加入了希臘的研究機構國家科學研究中心 “德謨克利特”(NCSR),后來又開始在格羅方德位于德國德累斯頓的 1 號晶圓廠工作。

2015 年,他加入了一家名為 Mapper 的荷蘭初創公司,該公司開發了一種基于使用 1 萬至 1.3 萬條電子束進行大規模并行電子束直寫的無掩模光刻技術。2012 年,Mapper 獲得了俄羅斯納米技術公司(Rusnano)的資金支持,這是一家由俄羅斯政府控制的高科技投資機構,并且 Mapper 還在俄羅斯建立了一個小型生產基地,用于制造微機電系統(MEMS)。

2018 年末 Mapper 破產時,在荷蘭和美國政府為保護該技術施加的壓力下,ASML收購了其資產并接收了其員工。German 是轉至ASML的 100 多名工程師之一,在ASML他操作生產電光組件的機器。目前,ASML的員工稱German是個 “表現并不突出的人”,而其他人則表示他是一位專注但性格內向的技術人員,溝通存在困難。然而,據《新鹿特丹商業報》報道,German 的名字出現在與ASML相關的四份專利申請文件中,其中最新的一份一個月前剛剛公布。這些文件列出了幾位發明者,尚不清楚German 在這些發明中是否發揮了重要作用。

對他數字活動的審查顯示,他在 2020 年 12 月的兩天內訪問了受限文件,盡管他并無使用這些文件的需求。當時,公司的內部安全系統并未發出任何警報。《新鹿特丹商業報》咨詢的專家認為,泄露的數據包括演示文稿和手冊,但不包括建造芯片制造機器或整個工廠所需的核心計劃。2021 年ASML將他所從事的工作外包出去時,他的合同到期。

離開ASML后,German 通過職業介紹所尋找科研崗位的工作,但沒有成功。2022 年 1 月,在疫情期間,他以臨時合同工的身份加入了位于荷蘭內梅亨的恩智浦公司,擔任工藝技術員。同年 5 月,他聯系了內梅亨的一家公司,要求提供一份來自ASM International的二手化學氣相沉積設備的報價。起初,這批設備本應運往德國,但他后來將目的地改為了以色列。最終這批設備一直沒有交付。現在看來,這是他試圖為一個新工廠收集零部件的舉動。

他的前妻的陳述顯示,到 2023 年末,他與俄羅斯研究人員就建造一座能夠使用 28 納米技術生產芯片的俄羅斯晶圓廠一事進行了接觸。當時,俄羅斯的相關實體被列入了黑名單,無法從知名供應商(無論是經銷商還是代工廠)那里獲得先進芯片

同年,他在代爾夫特理工大學(TU Delft)擔任了一年的職位,但一直比較孤立,調查人員在那里沒有發現他有盜竊行為的跡象。


關鍵詞: 俄羅斯 ASML 光刻機

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