數(shù)百人緊急撤離!臺積電供應(yīng)商管制氣體泄露
2023-08-16 08:44:23 EETOP位于臺南新市的極光先進(jìn)激光公司在8/15上午11時傳出3級管制氣體氟氣的鋼瓶外泄事件。臺南市消防局在上午11時27分接獲通報之后,立即派出相關(guān)人員到場處理。在現(xiàn)場勘查后,確認(rèn)是極光先進(jìn)激光公司發(fā)生總量6540克的鋼瓶氟氣外泄事件,由于氟氣是3級管制有毒氣體,消防局立即協(xié)助廠區(qū)疏散凈空,并進(jìn)行止閥冷卻。
消防局表示,在公司員工300多人立刻撤出,并進(jìn)一步處理之后,氣體外泄事件已經(jīng)解決。在廠內(nèi)外泄的氣體偵測值已降為 0,并且由消防人員目前著裝入室后,確認(rèn)閥體、鋼瓶沒有其他泄漏狀況,公司員工也沒有人員受困或傷亡的情況。
至于,發(fā)生鋼瓶氟氣外泄原因,外泄量等后續(xù)將由臺南市環(huán)保局、毒化災(zāi)應(yīng)變隊(duì)、勞工局、南區(qū)勞檢所等相關(guān)單位進(jìn)一步進(jìn)行調(diào)查。
氟氣在半導(dǎo)體應(yīng)用中的用途
在半導(dǎo)體領(lǐng)域,氟氣被廣泛應(yīng)用于制造工藝中。半導(dǎo)體材料例如硅、氮化硅和氧化硅等都需要通過氟氣進(jìn)行處理以增強(qiáng)其特性和完善表面質(zhì)量。同時,氟氣還可以用來清洗工藝。
氟氣是劇毒性氣體,能刺激眼、皮膚、呼吸道黏膜。由于它立即與水反應(yīng)生成氟化氫,所以在大多數(shù)情況下顯出與氟化氫同樣的毒性。
當(dāng)氟氣濃度為5~10ppm時,對眼、鼻、咽喉等黏膜開始有刺激作用,作用時間長時也可引起肺水腫。與皮膚接觸可引起毛發(fā)的燃燒,接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化癥和韌帶鈣化。吸入氟氣的患者應(yīng)立即轉(zhuǎn)移至無污染的安全地方安置休息,并保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時迅速用水沖洗之后就醫(yī)診治。
氟氣中毒是一種慢性全身性疾病,早期表現(xiàn)為疲乏無力、食欲不振、頭暈、頭痛、記憶力減退等癥狀。過量的氟氣進(jìn)入人體后,主要沉積在牙齒和骨骼上,形成氟斑牙和氟骨癥。
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