數百人緊急撤離！臺積電供應商管制氣體泄露
2023-08-16 08:44:23 EETOP
位于臺南新市的極光先進激光公司在8/15上午11時傳出3級管制氣體氟氣的鋼瓶外泄事件。臺南市消防局在上午11時27分接獲通報之后，立即派出相關人員到場處理。在現場勘查后，確認是極光先進激光公司發生總量6540克的鋼瓶氟氣外泄事件，由于氟氣是3級管制有毒氣體，消防局立即協助廠區疏散凈空，并進行止閥冷卻。
消防局表示，在公司員工300多人立刻撤出，并進一步處理之后，氣體外泄事件已經解決。在廠內外泄的氣體偵測值已降為 0，并且由消防人員目前著裝入室后，確認閥體、鋼瓶沒有其他泄漏狀況，公司員工也沒有人員受困或傷亡的情況。
至于，發生鋼瓶氟氣外泄原因，外泄量等后續將由臺南市環保局、毒化災應變隊、勞工局、南區勞檢所等相關單位進一步進行調查。
氟氣在半導體應用中的用途
在半導體領域，氟氣被廣泛應用于制造工藝中。半導體材料例如硅、氮化硅和氧化硅等都需要通過氟氣進行處理以增強其特性和完善表面質量。同時，氟氣還可以用來清洗工藝。
氟氣是劇毒性氣體，能刺激眼、皮膚、呼吸道黏膜。由于它立即與水反應生成氟化氫，所以在大多數情況下顯出與氟化氫同樣的毒性。
當氟氣濃度為5～10ppm時，對眼、鼻、咽喉等黏膜開始有刺激作用，作用時間長時也可引起肺水腫。與皮膚接觸可引起毛發的燃燒，接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化癥和韌帶鈣化。吸入氟氣的患者應立即轉移至無污染的安全地方安置休息，并保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時迅速用水沖洗之后就醫診治。
氟氣中毒是一種慢性全身性疾病，早期表現為疲乏無力、食欲不振、頭暈、頭痛、記憶力減退等癥狀。過量的氟氣進入人體后，主要沉積在牙齒和骨骼上，形成氟斑牙和氟骨癥。
關鍵詞： 臺積電
