獲三星電子好評，韓國東進世美肯正計劃研發新一代極紫外光刻膠
2023-06-27 07:35:02 三星電子 韓國 光刻膠6 月 26 日消息，在三星電子嘗試重構 EUV 光刻膠供應鏈的推動下，東進世美肯所研發的極紫外光刻膠，已在去年年底被用于他們的一條量產工藝線。
而相關媒體最新的報道顯示，所研發的極紫外光刻膠已進入三星電子量產線的東進世美肯，也在準備為下一代的極紫外光刻機，也就是高數值孔徑的極紫外光刻機（high-NA EUV）研發光刻膠。
相關媒體在報道中表示，東進世美肯研發高數值孔徑極紫外光刻機投產后所需的光刻膠，是為了滿足阿斯麥這一類極紫外光刻機大量投產之后的需求。
阿斯麥高數值孔徑的極紫外光刻機，是他們在推出 TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 等多個型號的極紫外光刻機之后，所研發的新一代產品，將沿用 EXE 系列的命名，已有 TWINSCAN EXE:5000 和 TWINSCAN EXE:5200 兩個型號。
阿斯麥高數值孔徑的極紫外光刻機，數值孔徑將由 0.33 增至 0.55，用于 2nm 及以下的制程工藝，首臺交由客戶用于制程工藝研發的產品，計劃在今年年底出貨，用于大規模生產的，預計 2025 年開始在客戶的工廠全面投入運營。
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