單價(jià)超19億 Intel下單訂購(gòu)首臺(tái)ASML最先進(jìn)EUV光刻機(jī)
2022-01-20 09:38:57 快科技事實(shí)上，4年前，ASML的第一代高NA（0.55 NA）光刻機(jī)EXE:5000，Intel就是第一個(gè)下單的公司。不過(guò)當(dāng)前的7nm、5nm芯片還并非是其生產(chǎn)，而是0.33NA EUV光刻機(jī)。
和0.33NA光刻機(jī)相比，0.55NA的分辨率從13nm升級(jí)到8nm，可以更快更好地曝光更復(fù)雜的集成電路圖案，突破0.33NA單次構(gòu)圖32nm到30nm間距的極限。
外界預(yù)計(jì)，第一代高NA光刻機(jī)EXE:5000會(huì)率先用于3nm節(jié)點(diǎn)，至于EXE:5200，按照Intel的制程路線圖，2025年至少是20A或者18A（A代表埃米），也就是2nm和1.8nm或者20埃米和18埃米。
此前，ASML發(fā)言人曾對(duì)媒體透露，更高的光刻分辨率將允許芯片縮小1.7倍、同時(shí)密度增加2.9倍。未來(lái)比3nm更先進(jìn)的工藝，將極度依賴高NA EUV光刻機(jī)。
最后不得不說(shuō)，Intel能搶到第一單，除了和ASML一致緊密合作外，當(dāng)然也是因?yàn)?ldquo;鈔能力”，Gartner分析師Alan Priestley稱，0.55NA下一代EUV光刻機(jī)單價(jià)將翻番到3億美元（約合19億元人民幣）。
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