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ASML專訪:芯片微縮還能持續10年

2021-03-30 13:12:08 EETOP
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眾所周知,荷蘭商艾司摩爾(ASML) 過去以來所生產的光刻機一直是半導體制造當中的關鍵設備,尤其是其獨家所生產的極紫外光光刻機(EUV) 更是半導體先進制程中不可或缺的設備,也是協助當前全球唯三,包括臺積電、三星、英特爾能往先進制程發展的重要設備,也因此美國限制了中國大陸無法取得EUV,使得中國大陸半導體發展上始終落后于其他國家廠商。

而在半導體生態系中占據如此關鍵位置的ASML,其究竟是一家什么樣的公司也引發外界的好奇。因此,《路透社》 先前就專訪了艾司摩爾的技術開發副總裁Tony Yen(嚴濤南)。而透過與Tony Yen 的對談中也讓大家了解,ASML 的經營、文化、以及產品的發展。

 

問:我很想聽聽您如何描述ASML EUV 及其功能。

答:基本上,我們制造的機器是一種曝光工具,可以生產每個人都需要的芯片。目前臺積電、三星、和英特爾是我們向市場出售該尖端設備的三大客戶。

問:ASML 要成為該領域的領導者,需要具備哪些要素?顯然存在入門障礙,如前期成本和技術技能。但是,為什么其他人不能復制呢?

答:ASML 根植于荷蘭文化,公司的決心,工程師的組成,管理層和我們的客戶是成為領導者的因素。

荷蘭的人口雖然只有1,700 萬,但其公民很多都受過高等教育。ASML 擁有許多具備博士和碩士學位的員工,而且該公司非常的國際化,使得在公司的自助餐廳內可以聽到各種語言的交談,這些語言包括了中文、俄文、東歐文、西班牙文、意大利文、德語等。

而就因為公司的國際化特性,使得員工被公司的文化所吸引,這是非常重要的,這將使得公司注重結果,而且由技術來帶動的發展容易被實現。另外,幾位公司高階領導人都擁有物理學博士學位或物理學家的身分,使得這些公司領導人在ASML 中扮演著關鍵重要角色。尤其,他們幫助ASML 來透過物理學的常識來發展特殊的設備機械,包括提供給先進芯片制造過程使用的EUV 光刻機,這是ASML 能成為該領域的領導者的關鍵之一。

問:ASML何時開始考慮發展EUV

答:這大概開始于2000 年左右,公司并決定為大量開發與生產這些光刻機。當時,日本的廠商沒有這樣做,因為他們看到EUV 系統將會非常復雜,而且不見得確信EUV 設備能100% 的起作用。

ASML 有一個德國合作伙伴-蔡司(ZEISS),該公司以生產光學系統為主,其歷史可以追溯到1850 年。而ASML 與蔡司合作,蔡司專門為ASML 制造光學系統。也因為ASML 也為蔡司的許多開發提供資金,因此蔡司只能向ASML 出售與半導體相關的光學系統。另外,在與蔡司德發展過程中,ASML 還收購了總部位在美國圣地亞哥的Cymer,這是使EUV 發揮作用的另一個關鍵供應廠商。

問:ASML 一開始要如何努力地將產品推廣到市場上,而且之后生產出能符合他們需求和規格的產品?

答:從早期開發階段開始,這兩者是相互的。因為客戶采用ASML 早期開發的設備,可靠性不高,使得這些機器雖然有50% 的時間在停機的狀態中。只是,這些設備卻能夠提升生產芯片過程中上所需的功能。因此,如果客戶需要提升芯片的生產,或者用于生產更微小的芯片,就必須選擇ASML 的機器,這就是一開始的方式。但是,在當時,這些機器絕不是生產的絕對必要設備。

第一臺EUV 機器于2010 年送交三星,2011 年送交臺積電,這些都是早期的機器。而ASML 經歷了許多的研發,而且也讓客戶知道ASML 長期參與在客戶開發產品的過程當中,讓他們對于設備也能具備信心。而對于最先期的客戶,ASML 將早期的開發工具放在客戶端,并在物理上與客戶共同開發該技術,在此互相合作的基礎之下,開發出達到客戶需求產品。

問:針對未來先進制程包括7 納米、5 納米、3 納米的發展可以說明一下狀況嗎?并且說明一下這些先進制程技術的轉移狀態?

答:在當前大規模生產中最先進制程技術是5 納米節點,這是由臺積電和三星目前的技術。而英特爾在5 納米制程節點方面落后,他們甚至沒有在7 納米制程節點上開始進行大規模生產。但這邊必須要注意的是,因為英特爾具有更高層級的設計規則,因此英特爾的7 納米節點就相當于臺積電和三星的5 納米節點產品。因此,在相關技術并非完全一模一樣的情況下,這樣的差別很難說哪一家的產品比較優異。

至于,問題的第二部分,當客戶轉向更高級的制造流程,一般所需要的時間大概是5 年。而在這個階段中,ASML 就會與客戶相互的發展目標,只是這邊無法透漏細節。不過,首先需要對產品進行規劃,然后獲得董事會得許可后進入開發階段這是一定的。而一旦產品開發成功進入量產階段,在出口地點在不是受到管制的國家或地區情況下,預計2 年就會運交量產型的產品設備。

問:我敢肯定,您會經常聽到這個問題,而且當前情況可能會加劇這一問題,也就是對摩爾定律已經到極限的狀況有什么看法?

答:許多人說摩爾定律已經失效或減速。但是我認為它并沒有失效,也沒有減速。因為就ASML 的看法,摩爾定律可能還會再延續10 年,甚至更長的時間。而且,芯片面積微縮的作法,未來還可以持續至少10 年。

另外,目前人們正在談論堆疊是芯片的做法,將它們彼此堆疊,這就是所謂的3D 整合,包括臺積電和三星也對此進行了很多討論。但是,就ASML 的看法來說,雖然3D 整合正在發生,但是2D 平面芯片面積微縮仍至少可以持續10 年的時間。而為了此目標,ASML 下一代EUV 光刻設備也正在積極的開發當中。

問:ASML 是否考慮在機器學習或5G 標準方面進行投資,并預計這將如何影響市場需求?還是對您來說太下游了?

答:這部分的距離不算太遠。因為包括蘋果、三星、高通等公司都正在生產5G 芯片。如今,華為已進入限售令的實體名單中,因此其市場位置已被小米和其他中國品牌接收情況下,高通透過由三星最先進的5 納米制程來生的最高端芯片,目前已經進入大量生產階段情況下,ASML 也正享受良好業務所帶來的美好成果。

關鍵詞: ASML 芯片微縮 摩爾定律

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