中國長城推出首臺半導體激光隱形晶圓切割機
2020-05-19 09:11:23 新華網
鄭州軌交院成立于2017年，幾年來，該院圍繞自主安全工業控制器、高端裝備制造和新一代信息技術突破開展科研創新、技術攻關。被中國長城旗下公司收購后，鄭州軌交院科研創新、事業發展進入新一輪加速發展期。
晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序。中國長城副總裁、鄭州軌交院院長劉振宇介紹，與傳統的切割方式相比，激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高、加工效率高等特點，可以大幅提升芯片生產制造的質量、效率、效益。
該裝備通過采用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺，可以實現加工平臺在高速運動時保持高穩定性、高精度，運動速度可達500mm/S，效率遠高于國外設備。 在光學方面，根據單晶硅的光譜特性，結合工業激光的應用水平，采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器，最終實現了隱形切割。
在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機，配以不同功效的鏡頭，實現了產品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調整。該裝備還搭載了同軸影像系統，可以確保切割中效果的實時確認和優化，實現最佳切割效果。
高端智能裝備是國之重器，是制造業的基石，尤其是半導體領域內高端智能裝備，在國民經濟發展中更是具有舉足輕重的作用。
專家評價首臺半導體激光隱形晶圓切割機研制成功，對進一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。該裝備的成功研制也創立了央企、民企共扛使命、資源互補、平臺共享、集智創新的新模式，也是央企、民企聯合發揮各自優勢，通過產學研用相結合，解決國家重大智能裝備制造瓶頸問題的優秀典范。
中國長城董事長宋黎定說：“自主安全、核心技術始終是中國長城科研創新的聚焦主題，也是不變的工作主題。在國家發展的關鍵時期，中國長城的科研人員更要時刻牢記‘將核心技術掌握在自己手里’，牢記‘實踐反復告訴我們，關鍵核心技術是要不來、買不來、討不來的。央企義不容辭地扛起責任，誓當主力軍，勇攀核心技術突破高峰。”
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