臺積電稱5nm工藝進(jìn)展順利 有望2020批量生產(chǎn)
2019-10-30 08:49:48 中關(guān)村在線
目前臺積電已經(jīng)增加了其各種節(jié)點(diǎn)的支出。預(yù)計的投資額為100億美元,后增加到了140億至150億美元。
據(jù)悉 臺積電的5nm工藝(N5)將在其N7 +和N6工藝上使用的層數(shù)更多,將會采用極限紫外光刻(EUVL)。
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