據外媒報道，臺積電副董事長兼首席執行官CC We稱該公司的5nm計劃已步入正軌，這或許意味著他們將有望在2020年第二季度實現5nm關鍵節點的批量制造。
目前臺積電已經增加了其各種節點的支出。預計的投資額為100億美元，后增加到了140億至150億美元。
據悉 臺積電的5nm工藝（N5）將在其N7 +和N6工藝上使用的層數更多，將會采用極限紫外光刻（EUVL）。
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