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新方法“刻”出最快柔性硅晶體管

2016-04-23 11:27:25 n
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美國(guó)威斯康星大學(xué)麥迪遜分校的科研團(tuán)隊(duì),在4月20日出版的《科學(xué)報(bào)告》雜志上撰文稱,他們使用一種獨(dú)特方法,研制出了處理速度最快的柔性硅基晶體管,能無(wú)線傳輸數(shù)據(jù)和能量,有望用在包括可穿戴電子設(shè)備和傳感器等在內(nèi)的諸多領(lǐng)域。   

  目前這一柔性硅晶體管的截止頻率為創(chuàng)紀(jì)錄的38吉赫茲(GHz),而模擬表明,其最高截止頻率甚至能高達(dá)110吉赫茲(GHz)。在計(jì)算機(jī)領(lǐng)域,截止頻率越高,晶體管的處理速度越快。   

  該研究由威斯康星大學(xué)麥迪遜分校電子和計(jì)算機(jī)以及工程學(xué)教授馬振強(qiáng)(音譯)、科學(xué)家金正勛(音譯)領(lǐng)導(dǎo)。他們運(yùn)用低溫處理手段,借助簡(jiǎn)單且成本低廉的納米壓印技術(shù),在置于聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)基座上的柔性單硅晶體管上,畫(huà)出了電路。   

  在傳統(tǒng)的選擇摻雜方法中,一般會(huì)將雜質(zhì)引入材料內(nèi)的精確位置,從而增強(qiáng)其導(dǎo)電性,但有時(shí)候,摻雜劑會(huì)混進(jìn)材料內(nèi)不屬于它的區(qū)域,導(dǎo)致短溝道效應(yīng)。但在最新研究中,研究人員另辟蹊徑:用一個(gè)摻雜劑將單晶硅覆蓋,而不是選擇摻雜。   

  他們給晶體管添加了一層光敏材料,利用電子束平印術(shù),在其上制造出了可重復(fù)使用的納米圖案模型;接著根據(jù)模型內(nèi)的圖案,用干法刻蝕工藝在硅上切割出了精確的納米溝槽,并在溝槽上添加了能作為開(kāi)關(guān)的寬電閘。   

  由于該高性能晶體管擁有獨(dú)特的三維電流模式,因此耗能更少且效率更高。而且,與傳統(tǒng)制造過(guò)程相比,新方法能劃分出更狹窄的溝槽,也將有助于讓更多晶體管簇?fù)碓趩蝹€(gè)電子設(shè)備上。   

  馬振強(qiáng)指出,最新方法很容易升級(jí),用于高效能、低成本的卷對(duì)卷制程中,能使半導(dǎo)體制造商們以更低成本制造出擁有無(wú)線上網(wǎng)功能的高性能晶體管。

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