全開放6英寸MEMS中試線在園區運營
2014-10-26 17:22:40 本站原創國內首條全開放、市場化運作的6英寸微納機電制造（MEMS）中試線正式在園區運營，并成功交付首個產品。這意味著今后中小MEMS企業研發樣品可通過該中試線進入規模生產。
蘇州6英寸MEMS中試線，由蘇州納米科技發展有限公司建設，共16000平方米，其中超凈工藝場地5200平方米。該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業轉型升級服務平臺項目”支持。
蘇州納米科技發展有限公司負責人、蘇州市集成電路行業協會秘書長張希軍表示，中試線不僅是中小企業的創新平臺，更彌補了我國MEMS產業創新鏈的空白。“國內中小MEMS企業發展面臨很多困難，其中一個關鍵的難題是產品的工程化與中試生產，規模代工廠門檻較高，高校院所的實驗室工程化能力較弱或開放度不夠，產品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業規模化成長的瓶頸。”
“我們的中試線，與科研機構的概念驗證、單步工藝能力不同，主要開展中試和小批量生產業務，前端與產品樣品銜接，后端與規模代工廠銜接，是一個完全工業級別的中試線，不僅可以幫助中小企業創新，還可以促進他們規模化發展。”中試線運營總監游家杰告訴記者。
中試線上能做啥
蘇州6英寸MEMS中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產品，樣品測試結果良好，基本具備了MEMS芯片的開發加工能力。
產業介紹
當前，我國正處在MEMS產業格局形成、產業化加速發展的時期，江蘇MEMS產業資源集聚度最高，正成為國內該產業最具吸引力的區域。蘇州在MEMS產業布局多年，目前形成了MEMS傳感器的芯片設計、研發、中試、封裝測試的全覆蓋的產業特色，涌現了晶方半導體、敏芯、明皜等一批業界知名公司。
