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中微公司Prismo系列MOCVD設(shè)備已進(jìn)入全球大多數(shù)領(lǐng)先的氮化鎵基藍(lán)綠光LED制造商，此次推出的Prismo UniMaxTM是中微公司Prismo系列MOCVD設(shè)備的最新產(chǎn)品，該設(shè)備在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔。Prismo UniMaxTM配置了創(chuàng)新的多區(qū)溫度補(bǔ)償加熱系統(tǒng)，具備優(yōu)異的波長(zhǎng)均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性。該設(shè)備還具有其他一些新穎特征，如噴淋頭的優(yōu)化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了更好的均勻性和產(chǎn)出穩(wěn)定性、超大直徑石墨托盤(pán)可大幅提升產(chǎn)能并降低成本。Prismo UniMaxTM MOCVD設(shè)備專為高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的加工容量；通過(guò)石墨盤(pán)晶片排布的最優(yōu)化，其加工容量可以延伸到生長(zhǎng)164片4英寸或72片6英寸晶片。

中微公司Prismo UniMaxTM MOCVD設(shè)備已收到來(lái)自國(guó)內(nèi)領(lǐng)先客戶的訂單。同時(shí)，中微公司正在與更多客戶合作進(jìn)行設(shè)備評(píng)估。Prismo UniMaxTM 設(shè)備拓展了中微公司的MOCVD設(shè)備產(chǎn)品線，亦為全球LED芯片制造商提供最新解決方案以應(yīng)對(duì)Mini LED生產(chǎn)帶來(lái)的挑戰(zhàn)。

隨著LED電視、平板電腦、筆記本電腦、桌面顯示器、智能手機(jī)和車載顯示等應(yīng)用需求的不斷增長(zhǎng)，Mini LED作為一種新興技術(shù)備受關(guān)注。Mini LED具有高亮度、精確的動(dòng)態(tài)響應(yīng)和高對(duì)比度等優(yōu)勢(shì)，能夠顯著提升顯示品質(zhì)。中微公司發(fā)布的Prismo UniMax™ MOCVD設(shè)備能夠幫助客戶在Mini LED生產(chǎn)過(guò)程中實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的波長(zhǎng)均勻性和穩(wěn)定性，這些指標(biāo)也是Mini LED生產(chǎn)的制勝關(guān)鍵。

“Prismo UniMaxTM延續(xù)了中微公司現(xiàn)有Prismo平臺(tái)的核心技術(shù)，是目前國(guó)內(nèi)外極具創(chuàng)新性的MOCVD設(shè)備，為高性能的Mini LED生產(chǎn)提供高性價(jià)比的技術(shù)解決方案。”中微公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理尹志堯博士說(shuō)道，“我們很高興看到公司開(kāi)發(fā)的Prismo UniMaxTM設(shè)備已開(kāi)始被國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的LED客戶所采用。產(chǎn)品不僅能滿足嚴(yán)格的技術(shù)要求，還能幫助客戶以更低的成本獲得更高的產(chǎn)量。我們欣喜地看到MOCVD設(shè)備市場(chǎng)即將迎來(lái)一個(gè)新的高潮。我們期待與我們的客戶和合作伙伴一同并肩努力，進(jìn)一步推動(dòng)Mini LED技術(shù)和MOCVD設(shè)備市場(chǎng)的發(fā)展。”

Prismo UniMaxTM是中微公司的注冊(cè)商標(biāo)。

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（證券簡(jiǎn)稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開(kāi)發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國(guó)際一線客戶從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用，中微公司開(kāi)發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場(chǎng)占據(jù)領(lǐng)先地位。