力拼臺積電！SK海力士與ASML簽訂43.4億美元EUV供應合約
2021-02-26 12:35:11 EETOP
SK 海力士M16 工廠斥資35 兆韓圜(約316億美元)，是目前SK 海力士旗下最大的工廠，也安裝完成首條EUV 生產線，預計將自2021 下半年開始正式量產第4 代10納米級（1α）DRAM存儲器。除了SK 海力士，三星導入新世代制程之后隨即導入EUV 設備使用，為全球3 大DRAM 供應商中最早導入EUV 光刻設備者。三星近日發布的LPDDR5 16Gb DRAM 就是采用EUV技術生產，頻寬6400MHz，較LPDDR5 12GbDRAM 速度快16%。
據供應鏈消息指出，2021 年ASML 的EUV 設備出貨量從40 臺起跳，晶圓代工龍頭臺積電包下至少15 臺、上看20 臺，穩居最大客戶位置。因ASML 的EUV 產能有限，無法買到足夠機臺，日前傳出三星電子副會長李在镕（Lee Jae-yong）去年10 月出訪歐洲，拜會ASML 執行長Peter Wennink 等人，企圖爭取買到足夠EUV 光刻機，甚至提前取得產品的消息，可見市場對EUV 光刻機需求孔急。
