4.6億元！長江存儲“喜提”光刻機
2018-05-21 09:58:11 n在5月16日，我們報道了中芯國際（SMIC）已訂購一套極紫外光刻（EUV）設備，這是目前最昂貴和最先進的芯片生產工具。據悉，這套EUV光刻設備向荷蘭芯片設備制造商ASML購買，價值1.2億美元。
根據最新的消息顯示，日前長江存儲也迎來了自己的首臺光刻機，5月19日，光刻機已運抵武漢天河機場，設備相關的海關、商檢及邊防口岸的相關手續辦理完成后，即可運至長江存儲的工廠。
據悉，長江存儲的首臺光刻機同樣來自ASML，為193nm浸潤式光刻機，售價7200萬美元，約人民幣4.6億元，用于14nm~20nm工藝。這也從側面透露了長江存儲3D NAND閃存芯片的工藝制程。
來自長江存儲的官方消息，4月11日，國家存儲器基地項目芯片生產機臺正式進場安裝，這標志著國家存儲器基地從廠房建設階段進入量產準備階段，中國首批擁有完全自主知識產權的32層三維NAND閃存芯片將于年內量產。
據悉，國家存儲器基地于去年成功研發中國首顆32層三維NAND閃存芯片，這顆耗資10億美元、由1000人團隊歷時2年自主研發的芯片，是我國在制造工藝上最接近國際高端水平的主流芯片。
關于長江存儲：
受到紫光集團，國家集成電路產業投資基金，湖北地方集成電路基金，湖北科投共計240億美元戰略投資，長江存儲科技有限責任公司于2016年7月正式成立。長江存儲科技有限責任公司（長江存儲）是一家集芯片設計、工藝研發、晶圓生產與測試、銷售服務于一體的半導體存儲器企業。
關于ASML：
ASML是總部設在荷蘭Veldhoven的全球最大的半導體設備制造商之一，向全球復雜集成電路生產企業提供領先的綜合性關鍵設備。
ASML為半導體生產商提供光刻機及相關服務，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生產效率最高，應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數半導體生產廠商，都向ASML采購TWINSCAN機型，例如英特爾(Intel)，三星(Samsung)，海力士(Hynix)，臺積電(TSMC)，中芯國際(SMIC)等。
