ASML EUV光刻機(jī)累計(jì)生產(chǎn)450萬塊晶圓：一臺12億元
2019-12-18 09:06:54 快科技EUV技術(shù)能夠落地商用，背后離不開荷蘭巨頭ASML(阿斯麥)，整個(gè)EUV光刻機(jī)市場已經(jīng)被他家壟斷，現(xiàn)在的7nm工藝節(jié)點(diǎn)如此，未來的5nm、3mm節(jié)點(diǎn)也會如此。
近日，ASML公布了一些有關(guān)EUV的有趣數(shù)據(jù)。
其實(shí)早在2013年，ASML EUV光刻機(jī)就投用了，但頭幾年一直都是試驗(yàn)、試產(chǎn)性質(zhì)，累計(jì)300毫米晶圓產(chǎn)量直到2017年才達(dá)到110萬塊，2018年又生產(chǎn)了90萬塊，2019年至今累計(jì)已達(dá)450萬塊，算下來從2016年到現(xiàn)在年復(fù)合增長率高達(dá)95％。
其實(shí)，全球已部署投產(chǎn)的EUV光刻機(jī)也沒多少，直到2016才不過區(qū)區(qū)10臺，2018年增加了17臺，2019年上半年增加了11臺，目前總共38臺。
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