純度99.999999999％！國產電子級多晶硅不再靠進口
2018-06-08 10:21:54 科技日報純度要求達到99.999999999%的電子級多晶硅終于量產。記者6日從江蘇鑫華半導體材料科技有限公司獲悉，經過一系列嚴格驗證、檢測，近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國，同時也向國內部分晶圓加工廠批量供貨。這標志著我國半導體集成電路用硅料已經達到國際一流質量標準，也是我國多晶硅制造企業首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。
電子級多晶硅材料是集成電路的關鍵基礎材料，過去中國市場上的集成電路用多晶硅材料基本完全依賴進口。電子級多晶硅是純度最高的多晶硅材料。相對于太陽能級多晶硅99.9999%純度，電子級多晶硅的純度要求達到99.999999999%。5000噸的電子級多晶硅中總的雜質含量相當于一枚1元硬幣的重量。
2015年12月，鑫華半導體由國家集成電路產業投資基金聯手保利協鑫共同投資，建設國內首條5000噸半導體集成電路專用電子級多晶硅生產線。去年11月8日，協鑫旗下鑫華半導體正式發布電子級多晶硅產品。
目前，該電子級多晶硅已通過客戶驗證并形成規模化銷售，打破長期以來國外高純度材料壟斷，填補該產業國內技術空白。鑫華半導體公司第一條生產線的產能為5000噸，可保證國內企業3至5年內電子級多晶硅不會缺貨，產品質量滿足40nm及以下極大規模集成電路用12英寸單晶制造需求。同時，還將規劃再上一條5000噸生產線，以更好地滿足國際國內市場。
