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今年英特爾、臺積電、三星、Globalfoundries等半導(dǎo)體公司的制程工藝已經(jīng)進化到了10nm、7nm節(jié)點，國產(chǎn)最先進的工藝依然是28nm工藝，差距在三代以上。

國內(nèi)半導(dǎo)體工藝為什么發(fā)展不起來？很多人會說中國缺少先進的光刻機，特別是EUV光刻機，而不能引進的緣由是美國歐盟禁售EUV給中國。這實際上也是一個流傳多年的謠言了，EUV光刻機很快就要進入中國了，日媒報道稱中芯國際已經(jīng)向ASML訂購了一臺EUV光刻機，單價1.2億美元（編者注：約合7.65億元），預(yù)計明年初交付。

在半導(dǎo)體工藝進入10nm節(jié)點之后，制造難度越來越大，傳統(tǒng)的193nm紫外光刻機也難以為繼，EUV極紫外光刻機成為突破制程工藝的關(guān)鍵。

光刻機曾經(jīng)也是日本佳能、尼康公司的重要產(chǎn)品，不過現(xiàn)在的高端光刻機已經(jīng)被ASML壟斷，在EUV光刻機上更是獨一份。日經(jīng)新聞亞洲版今天報道稱，中芯國際（SMIC）已經(jīng)向ASML公司訂購了一臺EUV光刻機，單價1.2億美元，預(yù)計在2019年初交付。

此前英特爾、三星、臺積電以及GF都向ASML下了EUV訂單，其中臺積電訂購了大約10臺，三星訂購了大約6臺，英特爾今年會引入3臺EUV光刻機，GF也下了訂單，不過日經(jīng)新聞沒提到具體數(shù)量。

中國公司能買先進的光刻機？很多人聽到這個消息可能不太相信，因為網(wǎng)上一直有傳聞稱中國公司因為瓦森那協(xié)定的關(guān)系一直被禁止采購先進光刻機。對于這個問題，網(wǎng)上有很多爭議也有很多解答了，日經(jīng)新聞報道的中芯國際采購EUV光刻機其實也不是新聞了。

去年臺媒電子時報采訪過中ASML中國區(qū)總經(jīng)理金泳璇，后者辟謠稱ASML光刻機并沒有禁運問題，該公司對所有客戶都一視同仁，不存在有錢買不到的問題。他還透露了已經(jīng)有中國客戶洽談購買EUV光刻機，如果訂單確認的話，那么最快在2019年就會有EUV光刻機進入中國晶圓廠，ASML對此表示樂觀。

兩邊對比的話，這家中國公司就是中芯國際，雖然該公司的14nm工藝要到2019年初才能量產(chǎn)，不過國內(nèi)有需求EUV光刻機的幾乎只有他們了，2017年中芯國際表示他們已經(jīng)在預(yù)研7nm工藝了，訂購一臺EUV光刻機做研究也是很正常的。