新的光刻工具將在5nm需要，但薄膜，阻抗和正常運(yùn)行時(shí)間仍然存在問(wèn)題。
Momentum正在應(yīng)用于極紫外（EUV）光刻技術(shù)，但這個(gè)談及很久的技術(shù)可以用于批量生產(chǎn)之前，仍然有一些主要的挑戰(zhàn)要解決。
EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來(lái)是預(yù)計(jì)在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過(guò)去了，EUV已經(jīng)遇到了一些延遲，將技術(shù)從一個(gè)節(jié)點(diǎn)推向下一個(gè)階段。
如今，GlobalFoundries，英特爾，三星和臺(tái)積電相互競(jìng)爭(zhēng)，將EUV光刻插入到7nm和/或5nm的大容量制造（HVM），從2018年到2020年的時(shí)間范圍，這取決于供應(yīng)商。此外，美光，三星和SK海力士希望1xnm DRAM使用EUV。
但和以前一樣，在EUV進(jìn)入到HVM之前，有些pieces必須聚合在一起。而芯片制造商還必須權(quán)衡復(fù)雜的分類(lèi)。
根據(jù)行業(yè)的最新數(shù)據(jù)，以下是當(dāng)前EUV狀況的快照，以及其中的一些權(quán)衡：
• ASML正在其期待已久的250瓦特電源安裝其首款具有生產(chǎn)價(jià)值的EUV掃描儀，這將在年底完成。然而，EUV的正常運(yùn)行時(shí)間仍然是一個(gè)問(wèn)題。
• 阻抗，暴露于光線時(shí)在表面形成圖案的材料，今天正在努力達(dá)到EUV的目標(biāo)規(guī)格。該規(guī)格可以減少，但吞吐量受到打擊。有時(shí)，與抗蝕劑的相互作用可能會(huì)導(dǎo)致過(guò)程的變化甚至模式故障。
• EUV薄膜，面膜基礎(chǔ)設(shè)施的重要組成部分，還沒(méi)有準(zhǔn)備好用于HVM。薄膜是防止顆粒落在面罩上的薄膜。因此，芯片制造商可能要么等待EUV防護(hù)薄膜，要么沒(méi)有它們就要投入生產(chǎn)，至少在初期。
盡管如此，即使沒(méi)有這些部分，芯片制造商也可以在7nm處插入EUV光刻技術(shù)。使用強(qiáng)力方法，可以為一層或多層插入EUV。然而，在5nm及以后，EUV還沒(méi)有準(zhǔn)備好在這些節(jié)點(diǎn)上滿(mǎn)足更嚴(yán)格的規(guī)范，這意味著行業(yè)必須花更多的時(shí)間和金錢(qián)來(lái)解決這些問(wèn)題。
Stifel Nicolaus的分析師何志謙表示：“我們正在越來(lái)越多的采用EUV進(jìn)行批量生產(chǎn)。有些事情需要解決，客戶(hù)的EUV可以使用多少層次。英特爾更保守。三星更看好，因?yàn)樗麄兿氚阉谌隓RAM和代工/邏輯。我相信在臺(tái)積電5nm節(jié)點(diǎn)上將會(huì)實(shí)現(xiàn)全面的HVM實(shí)現(xiàn)，這可能意味著2020-2021。
顯然，代工客戶(hù)需要保持領(lǐng)先于EUV的曲線。為了幫助行業(yè)獲得一些洞察力，Semiconductor Engineering已經(jīng)看到了EUV掃描儀/源頭、阻抗和光罩掩膜基礎(chǔ)設(shè)施三個(gè)主要部分的技術(shù)。
為什么選擇EUV？
今天，芯片制造商使用193nm波長(zhǎng)光刻技術(shù)來(lái)對(duì)晶片上的精細(xì)特征進(jìn)行圖案化。實(shí)際上，193nm浸沒(méi)式光刻在80nm間距（40nm半間距）下達(dá)到極限。
因此，從22nm / 20nm開(kāi)始，芯片制造商開(kāi)始使用193nm浸沒(méi)光刻以及各種多種圖案化技術(shù)。為了減小超過(guò)40nm的間距，多個(gè)圖案化涉及在晶圓廠中使用幾個(gè)光刻，蝕刻和沉積步驟的過(guò)程。
圖1：自對(duì)準(zhǔn)間隔避免掩模未對(duì)準(zhǔn)。來(lái)源：Lam Research
圖2：雙圖案化增加密度。來(lái)源Lam Research
多個(gè)圖案化工作，但它增加了更多的步驟，從而增加流程中的成本和周期時(shí)間。循環(huán)時(shí)間是從開(kāi)始到結(jié)束處理晶圓的晶片所花費(fèi)的時(shí)間。
為了解決這些問(wèn)題，芯片制造商想要EUV。但是由于EUV尚未準(zhǔn)備好在7nm的初始階段，芯片制造商將首先使用浸入/多圖案化。希望是在7nm以后插入EUV。 EUV是5nm必須的。
D2S首席執(zhí)行官藤本真雄（Aki Fujimura）表示：“從成本的角度來(lái)看，7nm將實(shí)用化，盡管可能并不理想。 “（業(yè)內(nèi)人士）希望隨著7nm的音量增加，EUV將采用相同的設(shè)計(jì)規(guī)則。 5nm從實(shí)際的角度來(lái)看真的是沒(méi)有EUV的。“
最初，EUV針對(duì)7nm的觸點(diǎn)和通孔。根據(jù)GlobalFoundries的說(shuō)法，為了處理接觸/通孔，它需要每層兩到四個(gè)掩模用于7nm的光刻。
然而，使用EUV，每層只需要一個(gè)掩模來(lái)處理7nm和5nm的接觸/通孔。根據(jù)ASML，理論上，EUV簡(jiǎn)化了流程，并將生產(chǎn)周期的周期縮短了約30天。
“這是一個(gè)相當(dāng)不錯(cuò)的折衷，因?yàn)槟愕慕灰姿膱D案或一個(gè)面具接觸的三重圖案，”加里•帕頓，在首席技術(shù)官GlobalFoundries的。“這并不影響任何的設(shè)計(jì)規(guī)則要么，所以客戶(hù)可以得到循環(huán)時(shí)間和更好的收益率的優(yōu)勢(shì)。而且，因?yàn)樗菧?zhǔn)備好了，我們會(huì)由（EUV）以上的地方，我們會(huì)做金屬水平和縮小“。
EUV的早期采用者希望在2019年至2020年期間將7nm技術(shù)插入其中。“這是中心。 GlobalFoundries的高級(jí)研究員和技術(shù)研究高級(jí)總監(jiān)Harry Levinson表示：“我們正更加努。四大芯片公司在未來(lái)幾年都處于HVM的軌道上。 現(xiàn)在真正的問(wèn)題是誰(shuí)將是第一，誰(shuí)將是第二。
問(wèn)題的根源
不過(guò)，在此之前，芯片制造商必須首先將EUV引入HVM。 這被證明比以前認(rèn)為的更困難，因?yàn)镋UV光刻的復(fù)雜性令人難以置信。
圖3：該EUV的復(fù)雜性。來(lái)源：ASML
在EUV中，電源將等離子體轉(zhuǎn)換成13.5nm波長(zhǎng)的光。 然后，光反彈了10個(gè)多層鏡子的復(fù)雜方案。
在這一點(diǎn)上，光通過(guò)可編程照明器并擊中面罩。 從那里，它會(huì)彈出六個(gè)多層鏡子，并以6％的角度擊中晶片。
圖4：準(zhǔn)確彈跳光 來(lái)源：ASML /Carl Zeiss SMT Gmbh
最大的挑戰(zhàn)是電源。它不會(huì)產(chǎn)生足夠的電源或EUV光，以使EUV掃描儀能夠足夠快，或使其經(jīng)濟(jì)可行。
為了使EUV進(jìn)入HVM，芯片制造商需要能產(chǎn)生250瓦功率皆???"http://www.xebio.com.cn/rf" target="_blank" class="keylink">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"http://www.xebio.com.cn/uploadfile/2017/09/3_201709280954575rVu4.png" width="400" height="289" alt="n?Z???"http://www.xebio.com.cn/semi" target="_blank" class="keylink">ASML
不久前，業(yè)內(nèi)人士堅(jiān)持認(rèn)為，EUV掃描儀可以在沒(méi)有防護(hù)眼鏡的環(huán)境中處理干凈的環(huán)境。然后，芯片制造商改變了他們的立場(chǎng)，表示不會(huì)保證EUV掃描儀或其他工具在流程中保持100％的清潔。沒(méi)有防護(hù)薄膜制造商說(shuō)，EUV面罩容易發(fā)生顆粒和缺陷。
所以行業(yè)開(kāi)始開(kāi)發(fā)EUV防護(hù)薄膜。用于光學(xué)掩模的防護(hù)薄膜基于薄聚合物材料。相比之下，唯一的EUV防護(hù)薄膜供應(yīng)商ASML開(kāi)發(fā)出了僅50納米厚的多晶硅型EUV防護(hù)薄膜。
在操作中，當(dāng)EUV燈擊中防護(hù)薄膜時(shí)，膜的溫度將從600攝氏度升高到1000攝氏度。
問(wèn)題是防護(hù)薄片是脆的。在這些溫度下，有些人擔(dān)心EUV防護(hù)薄膜可能會(huì)在加工過(guò)程中惡化，造成EUV面罩和掃描儀的損壞。
到目前為止，ASML的EUV防護(hù)薄膜已經(jīng)用140V的EUV電源進(jìn)行了測(cè)試。但是，防護(hù)薄膜將如何反應(yīng)250瓦特源仍然不清楚。
應(yīng)用材料面具和TSV蝕刻部門(mén)的技術(shù)人員和CTO主要負(fù)責(zé)人Wu Banqiu說(shuō)：“對(duì)于機(jī)械強(qiáng)度和應(yīng)用性能，EUV薄膜有一些挑戰(zhàn)。 “防護(hù)薄膜吸收一些EUV能量。這種能量會(huì)導(dǎo)致防護(hù)薄膜的溫度升高。防護(hù)薄膜也存在于真空中。這意味著自然對(duì)流冷卻非常低。天然的熱轉(zhuǎn)移非常困難，因?yàn)榉雷o(hù)薄膜太薄了。“
總而言之，關(guān)于在HVM中使用多晶硅薄膜，如果不懷疑，仍然存在一些不確定性。所以現(xiàn)在，行業(yè)正在改變調(diào)整和考慮兩個(gè)選擇 - 等待一個(gè)HVM防護(hù)薄片或沒(méi)有他們開(kāi)始生產(chǎn)。
英特爾表示，如果沒(méi)有防護(hù)眼鏡，它將不會(huì)進(jìn)入EUV生產(chǎn)。英特爾的Farnsworth說(shuō)：“我們正在積極地研究它。
然而，該行業(yè)正在對(duì)沖它的投注。至少在初期，許多人也在考慮計(jì)劃進(jìn)入EUV生產(chǎn)而沒(méi)有防護(hù)眼鏡。
在理論上，使用EUV，芯片制造商可以處理沒(méi)有防護(hù)薄膜的接觸和通孔。 “對(duì)于那些人來(lái)說(shuō)，不需要一個(gè)防護(hù)薄膜，因?yàn)殛P(guān)鍵區(qū)域較小。因此，造成問(wèn)題的粒子的風(fēng)險(xiǎn)較小，“GlobalFoundries Patton說(shuō)。
但是有一些后果。即使EUV掃描儀是干凈的，不需要的顆粒也會(huì)粘在掩模上。
因此，如果芯片制造商在沒(méi)有防護(hù)膜的情況下投入生產(chǎn)，則必須在流程中實(shí)施更多的掩模檢查和清潔步驟。 “我們將做我們所做的與晶片印刷和晶圓檢查，”GlobalFoundries的萊文森說(shuō)，“但是很痛苦。 所以，我們需要一個(gè)好的防護(hù)薄膜解決方案。“
在研發(fā)方面，該行業(yè)正在研究下一代薄膜和面具基礎(chǔ)設(shè)施的其他部分。 可以肯定的是，對(duì)于EUV抗議的發(fā)展也有緊迫感。 而且，當(dāng)然還有電源。
這一切會(huì)實(shí)現(xiàn)嗎？ 時(shí)間會(huì)告訴我們EUV光刻傳奇。 | 
