美國加利福尼亞州圣巴巴拉市和中國北京，2019年5月6日 — 美國最大的
MEMS 技術和平臺方案獨立提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學微納電子學研究院的三名（個）優秀學生（團隊）頒發了2018年度
MEMS專項獎學金，以鼓勵他們在
MEMS工藝技術研究與開發領域所做的貢獻，并激勵更多未來之才持續投身
MEMS制造工藝技術的創新研究。這是IMT為北京大學微納電子學研究院頒發的第四屆
MEMS專項獎學金，也標志著雙方開展戰略合作已有四年。本年度最終獲頒獎學金的是黃東、李君實（團隊），朱佳（個人），李婷宇、徐涵、周文博（團隊）。
IMT公司積極參與中國
半導體生態發展，與眾多伙伴開展了廣泛而深入的合作。除了為中國領先的器件設計公司代工生產先進的
MEMS產品，IMT還與諸多研究機構攜手，致力于
MEMS制造工藝技術的研發。IMT和北京大學微納電子學研究院的戰略合作始于2015年，作為該合作的一部分，IMT在
MEMS研究和開發領域設立了專項獎學金，每年向北京大學的三名（個）學生（團隊）提供獎學金。該獎學金計劃是首項在中國專門針對
MEMS制造工藝技術開發而設立的獎學金。
隨著IMT和北京大學微納電子學研究院的戰略合作持續深化，越來越多的學生開始在
MEMS工藝技術研究方面投入精力，并參與到
MEMS專項獎學金的角逐中來。在對所有申請獎學金的候選人進行大量評估和答辯后，北京大學微納電子學研究院最終將2018年度獎學金授予了黃東、李君實（團隊），朱佳（個人），李婷宇、徐涵、周文博（團隊）。這三組IMT獎學金獲得者的研究方向分別為用于生物
MEMS應用的先進微針陣列電極制造，用于生物傳感的三維空腔光學納米天線的制造，用于液體活檢應用的聚一氯對二甲苯（Parylene C）微孔過濾膜的制造和功能化。他們的研究成果在
MEMS工藝技術方面取得了突破，并且在
MEMS器件制造及應用中具有發展潛力和前景。
MEMS已經作為一種整合技術出現在諸多不同的應用中，例如
物聯網、無人機、智能手機、可穿戴電子產品、生物領域和機器人等應用，新型的
MEMS器件正在被快速地開發并推出。為了不斷推動
MEMS技術的創新，IMT 和北京大學微納電子學研究院等領先的研究機構結為合作伙伴并積極開發先進制造工藝技術，以應對眾多領域快速發展的需求。
“很高興又一次代表IMT為北京大學微納電子學研究院的優秀學生頒發
MEMS專項獎學金。雙方合作四年以來，我們看到學生們開展的研究越來越深入，創新性也越來越強。這讓我們對
MEMS產業的前景抱有極大的信心。”IMT 首席執行官Craig Ensley先生表示。“中國是全球
半導體產業最重要的市場之一，IMT始終對中國的
半導體產業發展保持高度關注，同時我們也期待利用自己全球領先的
MEMS 器件加工技術和產業經驗助力中國的
MEMS技術創新、產品開發、國際合作邁上一個新的臺階。”
“通過與IMT這樣全球領先的
MEMS制造服務公司合作，尤其是借助
MEMS 專項獎學金計劃，我們為青年才俊們開啟了一扇大門，有助于擴展他們的視野，并為他們開展新一代
MEMS技術的創新研究提供了很好的平臺。”北京大學微納電子學研究院王瑋教授表示。“多年來，北京大學微納電子學研究院一直致力于
MEMS新技術、新工藝的研發，以及為行業培養更多的優秀工藝研發人才。希望通過我們與IMT甚至更多機構的共同努力，能夠推動
MEMS技術在中國乃至全球快速發展并實現在業內的更廣泛應用。”
