中微董事長尹志堯：國內芯片制造已經出現投資過度的勢頭，更看好半導體設備和材料方向
2018-10-21 08:07:47 華聲在線“愿共同推動集成電路高端設備產業的發展”
——訪中微半導體設備(上海)有限公司董事長兼首席執行官尹志堯
尹志堯 湖南日報記者 羅新國 攝湖南日報·華聲在線記者 周帙恒
“我注意到，當前國內的芯片制造產業已經出現了投資過度的勢頭。因此，湖南發展集成電路產業，可以往半導體設備和材料的研制方向發展。”
“湖南發展集成電路設備和材料產業有良好的基礎，我們愿加強合作，助推湖南在這一領域實現跨越發展。”10月19日，來湘考察的中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱“中微”)董事長兼首席執行官尹志堯表示，此行將重點圍繞湖南集成電路設備和材料產業發展出謀劃策，探討交流合作的前景和機遇。
十四年前毅然回國，造出“中國芯高端設備”
集成電路產業是數碼信息產業的基石，被列為《中國制造2025》重點聚焦發展的十大領域首位，對國民經濟發展和國家信息安全起著至關重要的作用。其中，半導體高端設備又是集成電路芯片產業的基礎。然而，長期以來，集成電路設備和技術一直被國外大公司所壟斷。
1984年，獲得美國加州大學洛杉磯分校物理化學博士的尹志堯，前往美國硅谷工作，經過20年的持續努力，成長為幾代等離子體刻蝕技術及設備的主要發明人和推動者，其領導和參與開發的刻蝕設備，幾乎占到了全世界的一半。
2004年，已年過六旬的尹志堯毅然帶領團隊從美國回到中國，在上海浦東創建了中微公司。十四年來，他帶領的團隊開發出的幾種刻蝕機和化學薄膜設備，在性能和性價比上都進入了國際前三強。
正是尹志堯所帶領的技術團隊突破核心技術壟斷，在中國土地上，第一次能夠生產出達到國際最先進水平的高端集成電路設備。
拿出研發“兩彈一星”的信心和決心
所謂芯片，就是內含集成電路的硅片，制造一塊小小的芯片，涉及50多個學科、上千道工序。“芯片制造是人類歷史上最復雜的一項工藝，其難度堪比‘兩彈一星’。” 尹志堯打了個形象的比喻，人的頭發絲平均直徑是0.07毫米，7納米是人頭發絲的一萬分之一，要是用這么細小的筆尖，就可以在一粒大米上，寫出一億個中文字。
“在這樣的尺度上加工是非常困難的，其中關鍵就是靠光刻機和等離子體刻蝕機。”尹志堯說，沒有微觀加工設備，就造不出芯片，而中微就是一家微觀加工高端設備公司。
如今，中微自主研發的等離子體、硅通孔等刻蝕設備，已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產線上廣泛應用，其研發的生產設備已與世界最前沿技術比肩。隨著產業快速發展，中微半導體也積極布局，加快發展步伐。
“我注意到，當前國內的芯片制造產業已經出現了投資過度的勢頭。因此，湖南發展集成電路產業，可以往半導體設備和材料的研制方向發展。”為湖南“彎道超車”支招，尹志堯建議在資金、人才和政策上加大扶持力度，拿出當年研發“兩彈一星”的信心和決心，為相關產業發展創造良好條件，同時他也表示，愿意深化與湖南相關方面的交流合作，攜手推動湖南集成電路高端設備自主研發。
