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中國建首個半導體薄膜設備生產基地

2017-04-18 16:52:10 未知

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由沈陽拓荊科技有限公司建設的我國首個半導體薄膜設備生產基地在沈陽市渾南區落成投產。該基地一期可容納1000人規模的研發制造團隊，年產能可達100臺(套)，實現產值15億元。全部達產后，年產能可達350臺(套)。

我國是全球最大的電子制造國。IC即集成電路是電子設備中最重要的組成部分，承擔著運算和存儲的功能，是計算機、數字家電、通信等行業的“心臟”。據行業協會發布的數據顯示，去年，我國集成電路產業總營收達4335.5億元，同比增長20.1%。

沈陽拓荊科技是由海外技術專家組建的高新技術企業，創立于2010年4月。2015年，拓荊科技獲得國家集成電路產業投資基金(簡稱“國家大基金”)2.7億元戰略投資，是“國家大基金”在遼寧投資的第一家企業。同年，拓荊科技新廠區在沈陽市渾南區破土動工。新廠區占地面積5.2萬平方米，擁有先進的研發設備、場所及生產用十級、百級和千級無塵潔凈間，是我國首個半導體薄膜設備生產基地。

此前，該技術一直被發達國家壟斷，設備進口嚴重受限，極大地制約了國產芯片產業發展。作為IC裝備核心裝備之一，該項目的建成一舉填補了國內空白，顯著提升了我國集成電路產業整體競爭力。拓荊科技的產品性能、指標達到國際一流設備水平，設備國產化率超過70%，產能是進口設備的1.1倍，成本卻比進口設備低了30%。

截至目前，拓荊科技已申請專利316項、授權專利103項，公司年產值始終保持100%以上的增速，現已成為國內唯一能夠生產適用于大規模集成電路生產線的半導體薄膜設備供應商。