新型飛秒激光等離子激元光刻技術 可加工石墨烯
2020-05-11 10:31:37 中國科技網
飛秒激光加工技術憑借著超高峰值功率和超短脈沖持續時間的獨特優勢，被廣泛應用于多種材料的超精細微納加工領域。然而，以激光直寫為例，雖然其精度很高，但在超精細微納制備上，效率仍有待提高。同時保證加工精度和加工效率是該技術需要解決的主要問題之一。“如何利用靈活簡便的加工手段解決加工精度和加工效率問題是拓展飛秒激光實用化的關鍵所在。”中科院長春光學精密機械與物理研究所研究員楊建軍說。
研究首次證明了FPL技術在二維薄膜材料上能夠實現大面積高質量亞微米周期結構的快速制備。得益于飛秒激光的非線性光學特點，FPL技術加工過程不易受材料表面缺陷、雜質等因素的影響，加工基底也不易受到材料種類的限制。加工材料表現出了優異的機械性能，可以利用傳統的濕轉移法進行完整轉移。這為相關材料周期性微納結構的靈活制備奠定了基礎。
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