友達32英寸OLED面板IGZO TFT采用7枚光掩模制作
2012-06-14 22:05:03 本站原創友達光電(AU Optronics，AUO)在美國波士頓舉行的最大規模顯示器國際學會“SID 2012”上發表了32英寸OLED面板的實現技術 [論文序號：9.3]。像素為1920×1080，亮度為200cd/m2，對比度為100萬:1。
32英寸開發品的驅動元件采用氧化物半導體IGZO(In-Ga-Zn-O)TFT。載流子遷移率為14.1cm2/Vs，閾值電壓約為1.4V,亞閾值擺幅為0.38V/dec.以下。
IGZO TFT構造為底 柵型，光掩膜數量為7枚，分別是(1)柵極電極(Al/Mo)、(2)通道層(IGZO)、(3)蝕刻阻擋層(SiOx)、(4)源漏電極(MoN/Al /MoN)、(5)保護膜(鈍化膜，SiOx/SiNx)、(6)陽極(ITO)、(7)Bank層(有機膜)。
IGZO層的成膜采用DC濺射技術。友達光電開發IGZO TFT驅動的32英寸液晶面板時利用5枚掩模制作，此次為形成OLED元件追加了掩模。
OLED元件構造采用從TFT基板側提取光的底部發光型。利用金屬掩模蒸鍍法分涂低分子型RGB三色發光材料形成彩色面板。
