日本綜合研究所利用愛思強系統成功在300mm晶圓上制得石墨烯
2012-04-14 23:01:47 本站原創德國愛思強股份有限公司今日宣布，其BM 300系統在日本產業技術綜合研究所（AIST）成功投入應用。該系統于2011年安裝到AIST研究所設于筑波市的高級無塵室中，并由愛思強的當地服務支持團隊進行調試。AIST研究團隊的負責人佐藤信太郎（Shintaro Sato）博士在2012年4月10日的美國材料協會春季會議上，公布了實驗生長結果。
“AIST成功在300mm的晶圓上生長出單分子層石墨烯，對于我們來說是一個重要的里程碑，”愛思強納米技術設備總監Ken Teo博士表示，“BM 300是技術最為先進的石墨烯生產平臺，擁有能夠精準地輸送前置物質成熟的氣體輸送系統、ARGUS原位晶圓熱分布控制、高度均勻的晶圓加熱器、自動化處理器等。在300mm的晶圓上實現高度可控且可重復的石墨烯沉積，是進行大規模的晶圓級石墨烯生產的必要步驟，并為新一代的半導體設施開發具有獨特性質的石墨烯奠定了基礎。”
“AIST成功在300mm的晶圓上生長出單分子層石墨烯，對于我們來說是一個重要的里程碑，”愛思強納米技術設備總監Ken Teo博士表示，“BM 300是技術最為先進的石墨烯生產平臺，擁有能夠精準地輸送前置物質成熟的氣體輸送系統、ARGUS原位晶圓熱分布控制、高度均勻的晶圓加熱器、自動化處理器等。在300mm的晶圓上實現高度可控且可重復的石墨烯沉積，是進行大規模的晶圓級石墨烯生產的必要步驟，并為新一代的半導體設施開發具有獨特性質的石墨烯奠定了基礎。”
佐藤博士帶領AIST的團隊將運用該系統沉積出限定層數的高質量石墨烯。這將是制造低電壓CMOS FET加工技術的主要步驟，使其能夠在低于0.3伏的電壓下工作。
該項研究由世界領先創新科技研發資金計劃（Funding Program for World-Leading Innovative R&D on Science and Technology，簡稱FIRST）投資，該計劃旨在鼓勵先進科技研發，以增強日本的國際競爭力，并通過分享研究成果，為社會和人民的福祉作貢獻。FIRST計劃經日本政府內閣辦公室的綜合科學技術會議于2009年批準，由日本政府內閣辦公以及日本學術振興會共同運營。這次晶圓加工研究在AIST研究所合作研究團隊的綠色納米電子中心（Green Nanoelectronics Center）進行，屬于FIRST 計劃的“綠色納米電子核心技術研發”項目（核心研究員：橫山直樹（Naoki Yokoyama）博士）的一部分。綠色納米電子中心成立于2010年4月，由來自學術界以及工業界的研究員組成。
